He mea tino pai te pupuhi magnetron korehau mo nga paninga waipara tauhohe.Inaa, ka taea e tenei mahi te whakatakoto i nga kiriata angiangi o nga mea waikura, carbide, me te nitride.I tua atu, he tino pai te tukanga mo te whakatakoto i nga hanganga kiriata multilayer, tae atu ki nga hoahoa whakaata, nga kiriata tae, nga kakahu-aukati, nga nano-laminates, nga whakakikorua superlattice, nga kiriata insulating, me etahi atu. Kua whakawhanakehia nga tauira waipara mo nga momo papanga papanga kiriata whatu.Kei roto i enei rawa nga rauemi kawe maramara, semiconductors, polymers, oxides, carbide, me te nitrides, ka whakamahia nga fluoride ki nga mahi penei i te paninga whakaetonga.
Ko te painga nui o te tukanga pupuhi magnetron ko te whakamahi i nga tukanga whakakikorua reactive, kore-reactive ranei ki te whakatakoto i nga papa o enei rauemi me te pai o te whakahaere i te hanganga paparanga, te matotoru kiriata, te riterite matotoru kiriata me nga taonga miihini o te paparanga.Ko nga ahuatanga o te tukanga e whai ake nei.
1, reiti waipara nui.Na te whakamahinga o nga hiko magnetron tere-tere, ka taea te whiwhi i te rere katote nui, ka pai ake te whakapai ake i te reiti waipara me te reeti pupuhi o tenei mahi whakakikorua.Ka whakatauritea ki etahi atu tukanga whakakikorua, he nui te kaha me te hua nui o te magnetron sputtering, ka whakamahia nuitia i roto i nga momo mahi ahumahi.
2、Hinga kaha kaha.Ko te whainga mokowhiti a Magnetron te tikanga whiriwhiri i te ngaohiko i roto i te awhe o te 200V-1000V, ko te tikanga ko te 600V, na te mea ko te ngaohiko o te 600V kei roto noa i te awhe tino whai hua o te kaha hiko.
3. He iti te kaha o te pupuhi.Ko te ngaohiko whainga magnetron he iti te tono, a ka herea e te papa autō te plasma e tata ana ki te cathode, e kore ai e rere atu nga matūriki kua utaina ki runga i te taputapu.
4, iti te pāmahana tïpako.Ka taea te whakamahi i te anode ki te arahi atu i nga irahiko i hangaia i te wa o te tukunga, kaore e hiahiatia te tautoko o te tïpako ki te whakaoti, ka taea te whakaiti i te pupuhi irahiko o te tïpako.No reira he iti te pāmahana tïpako, he tino pai mo etahi tïpako kirihou e kore e tino atete ki te paninga pāmahana teitei.
5, Karekau te ahua o te mahanga o te mata o te mata o te marau a Magnetron sputtering.Ko te ahua o te mata o te mata e pupuhi ana i te mata o te mata o te mata, ka puta mai na te pahekeheke o te papa o te whaainga.He nui ake te waahi o te reeti etching target, kia iti te reiti whakamahi whai hua o te whaainga (e 20-30% anake te reeti whakamahi).Na reira, ki te whakapai ake i te whakamahinga o te whaainga, me whakarereke te tohatoha papa autō ma etahi tikanga, ka taea ranei e te whakamahi o aukume te neke i roto i te cathode te whakapai ake i te whakamahinga o te whaainga.
6, whainga hiato.Ka taea te hanga i te kiriata koranu whakakikorua i whäia.I tenei wa, kua oti pai te whakakikorua i te mahinga o te miihini whakahiato i runga i te koranu Ta-Ti, (Tb-Dy) -Fe me te kiriata koranu Gb-Co.E wha nga momo anga hangahanga whakahiato, ko te whainga tuitui a tawhio noa, ko te whainga whaowhao tapawha, ko te whainga whakahiato tapawha iti me te whaainga tuitui rangai.He pai ake te whakamahi i te anga whakahiato o te rangai.
7. Te whānuitanga o nga tono.Ka taea e te tukanga pupuhi a Magnetron te whakatakoto i nga mea maha, ko nga mea noa ko: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, etc.
Ko te pupuhi a Magnetron tetahi o nga tikanga whakakikorua e tino whakamahia ana kia whiwhi kiriata kounga teitei.Ma te cathode hou, he nui te whakamahinga o te whaainga me te reeti whakangao nui.Guangdong Zhenhua Hangarau korehau magnetron sputtering tukanga paninga Kei te whakamahia whānuitia inaianei i roto i te paninga o substrates nui-rohe.Ko te tukanga e kore e whakamahia anake mo te whakahekenga kiriata kotahi-papa, engari ano hoki mo te whakakikorua kiriata maha, i tua atu, ka whakamahia ano hoki i roto i te pukapuka ki te huri i te tukanga mo te kiriata kapi, te kiriata whatu, te lamination me etahi atu paninga kiriata.
Wā tuku: Nov-07-2022