Ko te tikanga o te paninga katote puna katote cathodic arc he rite tonu ki etahi atu hangarau whakakikorua, a ko etahi o nga mahi penei i te whakauru i nga taputapu mahi me te whakamaarama kua kore e mahi ano.
1.Ko te horoi i nga taonga mahi
I mua i te paninga, ka whakauruhia te hau argon ki roto i te ruma whakakikorua me te korehau o 2 × 10-2Pa.
Whakakāhia te hiko rītaha pulse, me te huringa mahi o te 20% me te rītaha mahi o te 800-1000V.
Ka huri te mana o te arc, ka puta he rerenga marama arc mara makariri, e tuku ana i te nui o te hiko irahiko me te katote titanium mai i te puna arc, ka hangaia he plasma teitei.Ko te katote Titanium e whakatere ana i tana werohanga ki roto i te taputapu mahi i raro i te pehanga teitei kino e pa ana ki te taputapu mahi, te pupuhi me te pupuhi i te toenga hau me nga parakino kua uru ki te mata o te mea mahi, me te horoi me te horoi i te mata o te mea mahi;I te wa ano, te hau maota i roto i te ruma paninga katote e te irahiko, a katote argon whakatere te poma o te mata workpiece.
Na reira, he pai te painga o te horoinga poma.Ko te 1 meneti noa o te horoi pupuhi ka taea te horoi i te taputapu mahi, e kiia nei ko te "arc bombardment matua".Na te nui o te papatipu o nga katote titanium, mena ka whakamahia he puna pewa iti ki te pupuhi me te horoi i te taonga mahi mo te roa rawa, ka kaha te wera o te mea mahi ki te wera rawa, a ka ngawari te mata o te taputapu.I roto i te hanga whanui, ka huri takitahi nga puna pewa iti mai i runga ki raro, a ko ia puna pewa iti he wa horoi poma mo te 1 meneti.
（1）Ka whakakikoruatia te paparanga o raro o te Titanium
Hei whakapai ake i te whakapiringa i waenga i te kiriata me te tïpako, ko te nuinga o te wa ka whakakikoruatia he paparanga o te titanium parakore i mua i te paninga o te titanium nitride.Whakaritehia te taumata korehau ki te 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, whakatikahia te ngaohiko rītaha mahi ki te 400-500V, ka whakatika i te huringa mahi o te tuku hiko rītaha pulse ki te 40% ~ 50%.Kei te mura tonu nga puna pewa iti kia kotahi ki te whakaputa i te tukunga o te waahi makariri.Na te hekenga o te ngaohiko rītaha kino o te mea mahi, ka heke te kaha o nga katote titanium.I muri i te taenga ki te mea mahi, he iti ake te paanga o te pupuhi i te paanga o te waipara, a ka hangaia he paparanga whakawhiti titanium ki runga i te taputapu hei whakapai ake i te kaha honohono i waenga i te paparanga kiriata pakeke titanium nitride me te tïpako.Ko tenei tukanga hoki ko te whakamahana i te taputapu mahi.I te wa ka tukuna te taumata titanium parakore, he kikorangi kikorangi te marama o te plasma.
1.Ammoniated peihana paninga kiriata pakeke
Whakaritea te tohu korehau ki te 3×10-1-5Pa, whakatika i te ngaohiko rītaha mahi ki 100-200V, a ka whakatika i te huringa mahi o te tuku mana rītaha pulse ki 70% ~ 80%.Whai muri i te whakaurunga o te hauota, ko te titanium te tauhohenga whakakotahitanga me te arc discharge plasma ki te whakatakoto i te kiriata pakeke titanium nitride.I tenei wa, he whero here te rama o te plasma i roto i te ruma korehau.Mena ko C2H2, O2, me etahi atu ka whakauruhia, TiCN, TiO2, me etahi atu paparanga kiriata ka taea te whiwhi.
–I tukuna tenei tuhinga e Guangdong Zhenhua, akaihanga miihini whakakikorua korehau
Wā tuku: Hune-01-2023