1, Te hanga o nga pūhui whakarewa i runga i te mata i whäia
Kei hea te pūhui i hanga i roto i te tukanga o te hanga i te pūhui mai i te mata i whäia mai i te mata i whäia e te tukanga sputtering tauhohenga?I te mea ko te tauhohenga matū i waenga i nga matūriki hau tauhohenga me nga ngota mata i whäia ka whakaputa ngota ngota, he mea whakakorikori i te nuinga o te wa, me whai huarahi te wera tauhohenga ki te puta, ki te kore e taea te tauhohenga matū te haere tonu.I raro i nga tikanga korehau, kaore e taea te whakawhiti wera i waenga i nga hau, no reira me mahi te tauhohenga matū ki runga i te mata totoka.Ko te pupuhi tauhohenga ka whakaputa i nga pūhui ki runga i nga mata kua tohua, nga papa taputapu, me etahi atu papa hangahanga.Ko te hanga pūhui i runga i te mata tïpako te whainga, ko te whakaputa i nga puhui ki runga i etahi atu papa hangahanga he moumou rawa nga rauemi, ka timata te whakaputa i nga pūhui ki runga i te mata i whäia hei puna ngota ngota ka noho hei arai ki te whakarato tonu i nga ngota puhui.
2, Nga awenga paanga o te mate paihana
Ko te take matua e pa ana ki te mate paihana ko te tauwehenga o te hau tauhohenga me te hau karekau, ka nui rawa te hau tauhohenga ka puta ki te paihana.Ka mahia te tukanga sputtering tauhohenga i roto i te mata i whäia te rohe o te hongere sputtering te ahua kua taupokina e te puhui tauhohenga, kua tihorea ranei te puhui tauhohenga ka kitea ano te mata whakarewa.Mēnā he nui ake te reiti o te whakangao pūhui i te tere o te tihorea pūhui, ka piki ake te rohe kapi pūhui.I tetahi mana, ka piki te nui o te hau tauhohenga e uru ana ki te whakangao puhui, ka piki ake te reiti o te whakangao puhui.Ki te nui haere te nui o te hau tauhohenga, ka piki ake te rohe kapi.A, ki te kore e taea te whakatika i te tere o te rere hau tauhohenga i roto i te waa, karekau e peehia te tere o te pikinga o te rohe kapi, a ka taupokina ano te hongere pupuhi e te puhui, ina ka kapi katoa te whainga pupuhi e te puhui, ko te whaainga ko tino paihana.
3, Ko nga ahuatanga paihana whainga
(1) whakaemi katote pai: ka te paihana ūnga, ka hanga he apa o te kiriweti kiriata i runga i te mata ūnga, katote pai tae te mata ūnga cathode e tika ana ki te blockage o te paparanga insulating.E kore e tomo tika ki te mata ūnga cathode, engari whakaemi i runga i te mata ūnga, ngāwari ki te whakaputa mara matao ki te rere pewa - arcing, kia kore e taea te sputtering cathode haere i runga i.
(2) ngaro anode: ka te paihana ūnga, te taiepa ruma korehau whenua i whakatakoto hoki te kiriweti kiriata, tae te irahiko anode e kore e taea te tomo ki te anode, te hanganga o te anode āhuatanga ngaro.
4, Whakamaramatanga a-tinana mo te mate paihana
(1) I te nuinga o te waa, he teitei ake te whakarea irahiko hiko tuarua o nga puhui whakarewa i tera o nga konganuku.I muri i te paihana o te whaainga, ko te mata o te whaainga ko nga pūhui whakarewa katoa, a, i muri i te pupuhihia e nga katote, ka piki ake te maha o nga irahiko tuarua i tukuna, e pai ake ai te kawe o te waahi me te whakaheke i te impedance plasma, e arahi ana ki te iti o te ngaohiko sputtering.Ma tenei ka whakaiti i te tere o te pupuhi.Ko te tikanga kei waenganui i te 400V-600V te ngaohiko kapohia o te ngaohiko magnetron, a ka puta te paihana o te whaainga, ka tino heke te ngaohiko pupuhi.
(2) He rereke te taumata o te whakarewa me te punua i te tuatahi, i te nuinga o te waa he teitei ake te whakarea o te konganuku i te whakarea o te puhui, no reira he iti te reiti pupuhi i muri i te paihana.
(3) He iti ake te kakama o te hau reactive sputtering i te kakama o te hau mokowhiti, no reira ka heke te reiti mokowhiti matawhānui i muri i te pikinga o te hau reactive.
5, Nga otinga mo te mate paihana
(1) Whakatauhia te tuku hiko o te reo reo irirangi ranei.
(2) Whakaritea te mana kati-koropiko o te rerenga hau tauhohenga.
(3) Whakaritehia nga whaainga mahanga
(4) Whakahaerehia te huringa o te aratau whakakikorua: I mua i te paninga, ka kohia te kurupae o te hysteresis o te paihana o te whaainga kia whakahaerea te rere o te hau ki mua o te whakaputa i te paihana whainga ki te whakarite kei te noho tonu te tukanga i mua i te tuunga. ka tino heke te reiti.
– Ko tenei tuhinga ka whakaputaina e Guangdong Zhenhua Technology, he kaihanga o nga taputapu paninga korehau.
Wā tuku: Nov-07-2022