No.1 Tikanga o te kaha teitei te pupuhi magnetron sputtering
Ko te kaha o te hiko o te hiko o te magnetron sputtering e whakamahi ana i te mana o te tihi teitei (2-3 ota o te nui teitei ake i te hikoi magnetron tikanga) me te iti o te huringa mahi (0.5%-10%) ki te whakatutuki i nga reeti wehewehe whakarewa teitei (> 50%). he mea ahu mai i nga ahuatanga o te pupuhi magnetron, penei i te Pikitia 1, kei reira te taumata teitei o te kiato o naianei I he rite ki te kaha nth tau o te ngaohiko tuku U, I = kUn (n he tau tonu e pa ana ki te hanganga cathode, papa autō. me te rauemi).I te iti ake o te kaha (ngaohiko iti) ko te uara n i te nuinga o te waa kei te 5 ki te 15;i te piki haere o te ngaohiko tuku, ka tere te piki o te kiato o naianei me te kiato mana, a, i te ngaohiko teitei ka 1 te uara n na te ngaronga o te herenga papa autō.Mena i te iti o te kaha o te hiko, ka whakatauhia te rerenga hau e nga katote hau kei roto i te aratau tuku puhoi;ki te nui te kaha o te kaha, ka piki ake te wahanga o nga katote whakarewa i roto i te plasma ka huri etahi taonga, kei roto i te aratau pupuhi-whaiaro, ara, ka mau tonu te plasma ma te katotetanga o nga matūriki koretake me nga katote whakarewa tuarua, me nga ngota hau inert. Ko te Ar ka whakamahia anake hei tahu i te plasma, i muri iho ka katote nga matūriki whakarewa i te taha o te whaainga, ka tere ki te hoki ki te pupuhi i te whaainga kua pakaru i raro i te mahi a nga papa hiko me te hiko ki te pupuri i te rerenga teitei o naianei, a he tino nui te plasma. matūriki whakarewa katote.Nā ki te tukanga sputtering o te pānga whakawera i runga i te ūnga, i roto i te tikanga ki te whakarite i te mahi pūmau o te ūnga i roto i te tono ahumahi, te kiato mana tika tono ki te ūnga e kore e taea e nui rawa, te tikanga tika mātao wai me te whāwhā rauemi kawe waiariki. kia i roto i te take o 25 W / cm2 i raro, tautauā wai autaki, rauemi ūnga te kawe waiariki he rawakore, rauemi ūnga i meinga e te kongakonga e tika ana ki te ahotea waiariki ranei rauemi ūnga kei roto i iti wāhanga koranu hūpekepeke me ētahi atu take o te kiato mana taea anake i roto i 2 ~ 15 W / cm2 i raro, tawhiti i raro i te whakaritenga o te kiato mana tiketike.Ka taea te whakatau i te raru o te wera nui o te whaainga ma te whakamahi i nga puihi hiko teitei.Ka whakatauhia e Anders te mana nui o te pupuhi magnetron ko te ahua o te pupuhi pupuhi ka nui ake te kaha o te kaha teitei i te kaha toharite o te kaha o te 2 ki te 3 ota o te nui, a ko te katote katote katoo e rangatira ana i te tukanga pupuhi, a ko nga ngota pupuhi kua tino wehea. .
No.2 Ko nga ahuatanga o te mana teitei o te hikoi te hiko o te magnetron sputtering paninga waipara
Ka taea e te kaha teitei te pupuhi magnetron sputtering te whakaputa plasma me te reiti wehewehenga teitei me te kaha o te katote teitei, ka taea te whakamahi i te pehanga rītaha ki te whakatere i nga katote kua tohua, ka pupuhihia te tukanga whakakikoruatanga e nga matūriki hiko teitei, he hangarau IPVD angamaheni.Ko te kaha o te katote me te tohatoha he tino paanga ki te kounga o te paninga me te mahi.
Mo te IPVD, i runga i te tauira rohe hanganga rongonui o Thorton, i whakaarohia e Anders tetahi tauira rohe hanganga e uru ana ki te whakahekenga plasma me te katote katote, ka whakaroahia te hononga i waenga i te hanganga whakakikorua me te pāmahana me te pehanga hau i roto i te tauira rohe hanganga Thorton ki te hononga i waenga i te hanganga paninga, te pāmahana me te pūngao katote, penei i te Pikitia 2. Mēnā he iti te pūngao paninga waipara katote, ka rite te hanganga paninga ki te tauira rohe hanganga Thorton.Na te pikinga ake o te pāmahana waipara, te whakawhiti mai i te rohe 1 (nga tioata muka maiengi) ki te rohe T (nga kiripiri muka matotoru), te rohe 2 (nga tioata pou) me te rohe 3 (te rohe recrystallization);i te pikinga o te kaha katote waipara, ka heke te pāmahana whakawhiti mai i te rohe 1 ki te rohe T, te rohe 2 me te rohe 3.Ka taea te whakarite i nga kiripiri muka teitei me nga tioata pourangi i te iti o te pāmahana.Ka piki ake te kaha o nga katote kua whakatakotoria ki te raupapa o te 1-10 eV, ka whakanuia te pupuhi me te weri o nga katote i runga i te mata o nga paninga kua whakatakotoria, ka piki ake te matotoru o nga paninga.
No.3 Whakaritenga o te paparanga whakakikorua pakeke e te mana teitei pulsed magnetron sputtering hangarau
Ko te whakakikorua i mahia e te hangarau hiko puihi magnetron sputtering he kaha ake, he pai ake nga ahuatanga miihini me te pumau o te pāmahana.E whakaatu ana i te Pikitia 3, ko te whakakikorua TiAlN te paninga TiAlN tikanga he hanga karaehe pou me te pakeke o te 30 GPa me te 460 GPa te paarua a Young;ko te paninga HIPIMS-TiAlN he 34 GPa te pakeke ko te 377 GPa te waahanga o te Young;ko te ōwehenga i waenga i te pakeke me te kōwae a Young he inenga mo te pakari o te paninga.Ko te kaha ake o te pakeke me te iti ake o te waahanga a Young he pai ake te pakari.Ko te whakakikorua HIPIMS-TiAlN he pai ake te pumau o te pāmahana teitei, me te wahanga hexagonal AlN i whakahekehia i roto i te paninga TiAlN tikanga i muri i te maimoatanga o te wera nui i te 1,000 °C mo te 4 haora.Ko te pakeke o te paninga ka heke i te teitei o te wera, i te mea ka noho tonu te paninga HIPIMS-TiAlN i muri i te maimoatanga wera i te waahi me te wa ano.Ko te whakakikorua HIPIMS-TiAlN he teitei ake te pāmahana o te whakamahana o te werawera nui atu i te paninga tikanga.Na reira, ko te whakakikorua HIPIMS-TiAlN e whakaatu ana i te pai ake o te mahi i roto i nga taputapu tapahi tere atu i etahi atu taputapu whakakikorua i whakaritea e te tukanga PVD.
Te wa tuku: Noema-08-2022