Ka taea e nga taputapu whakakikorua hiato o te pupuhi magnetron me te paninga katote maha-arc cathodic te mahi wehe me te wa kotahi;ka taea te whakatakoto me te whakarite i te kiriata whakarewa parakore, te kiriata pūhui whakarewa, te kiriata hiato ranei;ka taea he paparanga kotahi o te kiriata me te kiriata hiato-papa maha.
Ko ona painga e whai ake nei:
Ehara i te whakakotahi noa i nga painga o nga momo paninga katote me te whai whakaaro ki te whakarite me te tuunga o te kiriata angiangi mo nga momo waahanga tono, engari ka taea hoki te whakatakoto me te whakarite o nga kiriata monolithic maha-papanga, nga kiriata hiato-maha ranei i roto i te waatea kotahi. ruma paninga i te wa kotahi.
Ko nga tono o nga paparanga kiriata kua tukuna e whakamahia whanuitia ana ona hangarau i roto i nga momo momo, ko nga mea e whai ake nei:
(1) Te pūhui o te kore-equilibrium magnetron sputtering me te hangarau whakakikorua katote cathodic.
Ka whakaatuhia tana taputapu e whai ake nei.He taputapu whakakikoruatanga o te whainga magnetron pourangi me te paninga katote arc cathodic planar, he pai mo nga taputapu e rua te paninga taputapu kiriata pūhui me te paninga kiriata whakapaipai.Mo te whakakikorua taputapu, ka whakamahia te paninga katote arc cathodic i te tuatahi mo te paninga paparanga turanga, katahi ka whakamahia te taumata magnetron pou mo te tuunga o te nitride me etahi atu paparanga kiriata ki te whiwhi i te kiriata mata taputapu tukatuka teitei.
Mo te paninga whakapaipai, ka taea te whakatakoto i nga kiriata whakapaipai TiN me ZrN ma te paninga arc cathodic i te tuatahi, katahi ka whakakiia ki te whakarewa ma te whakamahi i nga whaainga magnetron, a he tino pai te paanga doping.
(2) Ko te pūhui o te magnetron rererangi mahanga me nga tikanga whakakikorua katote arc cathode.Ka whakaatuhia te taputapu e whai ake nei.Kei te whakamahia te reira i te hangarau ūnga mahanga matatau, ka hono rua ngā taha-i-taha mahanga ki te supply mana auau reo, te reira e kore anake hinga te paihana ūnga o DC sputtering, ahi me etahi atu drawbacks;a ka taea te whakatakoto i te Al203, SiO2 oxide kounga kiriata, kia nui ake ai, kia pai ake ai te aukati o te waikura o nga waahanga whakakikorua.Ko te whaainga maha-arc kua whakauruhia ki roto i te pokapū o te ruma korehau, ka taea te whakamahi i nga rauemi whaainga Ti me Zr, ehara i te mea hei pupuri noa i nga painga o te reeti wehewehenga maha-arc teitei, te reeti whakaheke, engari ka taea hoki te whakaiti i nga "tete" i roto. te tukanga o te iti rererangi maha-arc ūnga waipara, ka taea te whakatakoto me te whakarite i te porosity iti o kiriata whakarewa, kiriata pūhui.Mena ka whakamahia a Al me Si hei taonga mo nga whaainga magnetron mahere mahanga kua whakauruhia ki te taha, ka taea te whakatakoto me te whakarite i nga kiriata whakarewa-karakia Al203, Si0 ranei.I tua atu, he maha nga rererangi iti o te puna whakaetonga maha-arc ka taea te whakauru ki te taha, a ko ona taonga ko te Cr, ko Ni ranei, ka taea te whakatakoto me te whakarite i nga kiriata whakarewa me nga kiriata hiato maha.Na reira, ko tenei hangarau whakakikorua hiato he hangarau whakakikorua hiato me nga tono maha.
Te wa tuku: Noema-08-2022