1, Nga ahuatanga o te paninga sputter
Ka whakaritea ki te paninga whakaetonga korehau tikanga, ko te paninga sputtering nga ahuatanga e whai ake nei:
(1) Ka taea te pupuhi i nga matū, ina koa te ira whakarewa teitei, te iti o te pehanga kohu me nga pūhui.I te mea he totoka, ahakoa he konganuku, semiconductor, insulator, pūhui me te ranunga, me etahi atu, ahakoa he poraka, ka taea te whakamahi i nga mea kowhatu hei taonga whaainga.I te mea he iti te pirau me te hautau ka puta mai i te wa e pupuhi ana nga taonga whakamaarama me nga koranu penei i te waikura, ka taea te whakamahi ki te whakarite i nga kiriata angiangi me nga kiriata koranu he rite nga waahanga rite ki era o nga mea kua tohua, tae atu ki nga kiriata superconducting me nga tito uaua.' Hei taapiri, ka taea hoki te whakamahi i te tikanga pupuhi tauhohenga ki te whakaputa i nga kiriata o nga puhui he rereke rawa atu i nga mea i whaaia, penei i te waikura, nitride, carbide me te silicides.
(2) He pai te piri ki waenga i te kiriata kua pakaru me te taputapu.I te mea ko te kaha o nga ngota karekau he 1-2 ota teitei ake i tera o nga ngota kua ngotea, ko te hurihanga kaha o nga matūriki hiko-nui ka whakatakotoria ki runga i te tïpako ka nui ake te kaha o te waiariki, e whakarei ake ana i te piri o nga ngota karekau ki te tïpako.Ka werohia tetahi wahanga o nga ngota pupuhi kaha-nui ki nga nekehanga rereke, ka hangaia he paparanga pseudo-diffusion e kiia nei i runga i te tïpako i reira nga ngota sputtered me nga ngota o te rauemi tïpako "ka uru" ki a raua ano.I tua atu, i te wa o te pupuhi o nga matūriki pupuhi, ka horoi tonu te tïpako me te whakahohe i roto i te rohe plasma, e tango ana i nga ngota kua kore e piri, ka purea me te whakahohe i te mata o te taputapu.Ko te hua o tenei, ka tino whakanuia te piri o te paparanga kiriata kua pakaru ki te tïpako.
(3) He nui te kiato o te paninga sputter, iti kohao, me te pokekore teitei o te paparanga kiriata no te mea kahore he poke ipu, e kore e karo i roto i te waipara kohu waipara i roto i te tukanga paninga sputter.
(4) He pai te whakahaere me te tukurua o te matotoru kiriata.Mai i te mea ka taea te whakahaere motuhake i te naianei o te rerenga me te waa o te whaainga i te wa o te paninga sputter, ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata ma te whakahaere i te naianei o te whaainga, na reira, he pai te mana whakahaere o te matotoru kiriata me te reproducibility o te matotoru o te kiriata na te maha o te pupuhi o te paninga sputter. , me te kiriata o te matotoru kua whakaritea ka taea te whakakikorua pai.I tua atu, ka taea e te paninga sputter te whiwhi i te matotoru kiriata rite mo te waahi nui.Heoi, mo te hangarau whakakikorua o te mokowhiti (te nuinga o te kowhaorua), he uaua nga taputapu me te hiahia ki te taputapu pehanga teitei;he iti te tere o te hanga kiriata o te whakapoipoi, ko te 0.1 ~ 5nm / min te tere o te whakaetonga, ko te 0.01 ~ 0.5nm / min te tere o te pupuhi;he tiketike te pikinga o te pāmahana tïpako me te whakaraerae ki te hau poke, me etahi atu. Heoi, na te whanaketanga o te RF sputtering me te magnetron sputtering hangarau, kua nui te ahunga whakamua ki te whakatutuki i te whakahekenga o te putunga tere me te whakaiti i te pāmahana tïpako.I tua atu, i roto i nga tau tata nei, kei te tirotirohia nga tikanga whakakikorua hou - i runga i te papaa magnetron sputtering - ki te whakaiti i te pehanga hau mokemoke tae noa ki te kore o te pehanga karekau te pehanga o te hau whakauru i te wa e pupuhi ana ka kore.
Te wa tuku: Noema-08-2022