CFM1916

(1) Решетката за работното парче усвојува цилиндричен дизајн, со голема површина за обложување.Капацитетот за полнење на производот е двапати поголем од опремата за испарување на електронски сноп од истата спецификација.Решетката за работни парчиња е дизајнирана со структура за вртење и ротација, која може да се прилагоди на работните парчиња со различни форми и е пошироко користена.
(2) Користејќи го магнетронскиот цилиндричен систем за прскање на целта со средна фреквенција и помошниот систем за извор на јони, филмот за обложување е компактен, со висок и стабилен индекс на прекршување, силна адхезија и не е лесен за адсорпција на молекулите на водена пареа.Во различни средини, филмот одржува постабилни оптички перформанси од филмот депониран од традиционалната опрема за испарување на електронски сноп.
(3) Опремен со систем за следење на кристална контрола за прецизна контрола на дебелината на филмот, процесот има висока стабилност и добра повторливост.SPEEDFLO затворениот циклус и системот за автоматска контрола можат ефикасно да ја подобрат стапката на таложење на SiO2.
(4) Дизајнот на термостатски тела може ефикасно да ја контролира температурата на производот и може да се прилагоди на ултра тенки производи од PET и PC.