HFCVD0606

Вакуумската комора за обложување на опремата за хемиско таложење на пареа усвојува независна двослојна структура за водено ладење, која е ефикасна и униформа при ладењето и има сигурна и стабилна структура.Опремата е дизајнирана со двојни врати, повеќе прозорци за набљудување и повеќе интерфејси за проширување, што е погодно за надворешно поврзување на помошни периферни уреди како што се мерење на инфрацрвена температура, спектрална анализа, видео мониторинг и термоспој.Напредниот концепт на дизајн го прави секојдневниот ремонт и одржување, промената на конфигурацијата и надградбата на опремата лесни и едноставни и ефикасно ги намалува трошоците за користење и надградба.

Карактеристики на опремата:

1. Компонентите за надувување на опремата главно вклучуваат мерач на проток на маса, електромагнетниот вентил и резервоар за мешање на гас, кои обезбедуваат точна контрола на протокот на процесниот гас, еднообразно мешање и сигурна изолација на различни гасови и можат да изберат компоненти на системот за гас за употреба на извор на течен гас, го олеснува персонализираниот избор на широк спектар на извори на течен јаглерод и безбедната употреба на синтетички спроводливи извори на дијаманти и електроди на течен бор.
2. Склопот за извлекување воздух е опремен со тивка и ефикасна вакуумска пумпа со ротациони лопатки и систем со турбо молекуларна пумпа што може брзо да ја исполни околината со висока вакуумска позадина.За мерење на вакуум се користи композитниот вакуумски мерач со мерач на отпор и мерач на јонизација, како и системот за мерач на капацитивен филм кој може да го мери притисокот на различните процесни гасови во широк опсег.Притисокот на таложење е целосно автоматски контролиран со високопрецизен пропорционален контролен вентил.
3. Компонентата за вода за ладење е опремена со повеќеканален притисок на вода, проток, мерење на температурата и софтвер за автоматско следење.Различните компоненти за ладење се независни една од друга, што е погодно за брзо дијагностицирање на дефекти.Сите гранки имаат независни прекинувачи за вентили, што е безбедно и ефикасно.
4. Електричните контролни компоненти прифаќаат LCD екран со интерфејс човек-машина со големи димензии и соработуваат со целосно автоматска контрола на PLC за да го олеснат уредувањето и увозот на формулата за процесот.Графичката крива визуелно ги прикажува промените и вредностите на различни параметри, а параметрите на опремата и процесот автоматски се снимаат и архивираат за да се олесни следењето на проблемот и статистичка анализа на податоците.
5. Решетката за работното парче е опремена со серво мотор за контрола на подигнувањето и спуштањето на масата на подлогата.Може да се избере графитна или црвена бакарна подлога маса.Температурата се мери со термоспој.
6. Компонентите на решетката може да бидат дизајнирани како целина или одделно според барањата на клиентите за да се исполнат посебните барања за ракување на клиентите.
7. Компонентите на заптивната плоча се убави и елегантни.Запечатувачките плочи во различни области на функционалниот модул на опремата може брзо да се расклопат или да се отвораат и затвораат независно, што е многу погодно за употреба.

Опремата CVD со топла влакно е погодна за таложење на дијамантски материјали, вклучувајќи облога со тенок филм, самоносечки дебел филм, микрокристален и нанокристален дијамант, спроводлив дијамант итн. Главно се користи за заштитна обвивка отпорна на абење на алатки за сечење со цементиран карбид, полупроводнички материјали како што се силициум и силициум карбид, облога на уреди за дисипација на топлина, проводна дијамантска електрода со допирана бор, дезинфекција на електролитичка вода или отпадни води со озон.