1.Карактеристики на лак светлосниот проток на електрони
Густината на протокот на електрони, јонскиот проток и високо-енергетските неутрални атоми во лачната плазма генерирана од празнењето на лакот е многу поголема од онаа на празнењето на сјајот.Има повеќе гасни јони и метални јони јонизирани, возбудени високо-енергетски атоми и разни активни групи во просторот за обложување, кои играат важна улога во фазите на загревање, чистење и обложување на процесот на обложување.Акциониот облик на проток на лачен електрон е различен од оној на јонскиот зрак, од кои не сите се спојуваат во „зрак“, туку најчесто во дивергентна состојба, па затоа се нарекува проток на лак електрони.Бидејќи лачните електрони течат кон анодата, протокот на лачен електрон се насочува секаде каде што е поврзана позитивната електрода на лачното напојување, а анодата може да биде обработувано парче, помошна анода, сад, итн.
2.Метод на генерирање на лак електронски проток
(1) Изворот на гас генерира лак електронски проток: струјата на лакот на празнењето на шупливиот катоден лак и празнењето на топлиот лак може да достигне околу 200A, а напонот на лакот е 50-70V.
(2) Цврстиот извор генерира проток на електронски лак: извор на катоден лак, вклучувајќи мал извор на лак, извор на цилиндричен лак, правоаголна рамнина голем извор на лак, итн. 18-25 V.
Протокот на електрони со лачен лак со висока густина и ниска енергија во два типа на плазми со празнење на лак може да генерира интензивна јонизација на судир со атоми на гас и метален филм, добивајќи повеќе јони на гас, метални јони и разни високо-енергетски активни атоми и групи, а со тоа да се подобри целокупната активност на јоните на филмскиот слој.
– Оваа статија беше објавена од Гуангдонг Женхуа, апроизводител на машина за обложување со вакуум
Време на објавување: мај-31-2023 година