Технологијата за CVD обложување ги има следниве карактеристики:
1. Процесната работа на опремата за CVD е релативно едноставна и флексибилна и може да подготви единечни или композитни филмови и легирани филмови со различни пропорции;
2. CVD облогата има широк опсег на примени и може да се користи за подготовка на разни метални или метални филмски облоги;
3. Висока производна ефикасност поради стапките на таложење кои се движат од неколку микрони до стотици микрони во минута;
4. Во споредба со методот PVD, CVD има подобри перформанси на дифракција и е многу погодна за обложување на подлоги со сложени форми, како што се жлебови, обложени дупки, па дури и структури со слепи дупки.Облогата може да се обложи во филм со добра компактност.Поради високата температура за време на процесот на формирање на филмот и силната адхезија на интерфејсот на филмската подлога, слојот на филмот е многу цврст.
5. Штетата предизвикана од зрачењето е релативно мала и може да се интегрира со процесите на интегрираното коло на MOS.
——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа, апроизводител на машина за обложување со вакуум
Време на објавување: Мар-29-2023