① Добра контролирање и повторливост на дебелината на филмот
Дали дебелината на филмот може да се контролира со однапред одредена вредност се нарекува контрола на дебелината на филмот.Потребната дебелина на филмот може да се повторува многу пати, што се нарекува повторливост на дебелината на филмот. Бидејќи струјата на празнење и целната струја на вакуумската обвивка може да се контролираат одделно.Затоа, дебелината на распрсканиот филм може да се контролира, а филмот со однапред одредена дебелина може сигурно да се депонира.Дополнително, со распрскувачкиот слој може да се добие филм со униформа дебелина на голема површина.
② Силна адхезија помеѓу филмот и подлогата
Енергијата на распрсканите атоми е 1-2 реда на големина поголема од онаа на испаруваните атоми.Енергетската конверзија на високо-енергетските распрскани атоми депонирани на подлогата е многу повисока од онаа на испаруваните атоми, што генерира поголема топлина и ја подобрува адхезијата помеѓу распрсканите атоми и подлогата.Покрај тоа, некои високо-енергетски распрскани атоми произведуваат различни степени на инјектирање, формирајќи псевдодифузионен слој на подлогата.Дополнително, подлогата секогаш се чисти и активира во плазма регионот за време на процесот на формирање на филм, што ги отстранува атомите на распрскување со слаба адхезија и ја прочистува и активира површината на подлогата.Затоа, распрсканиот филм има силна адхезија на подлогата.
③ Може да се подготви нов материјален филм различен од целта
Ако реактивен гас се внесе за време на распрснувањето за да реагира со целта, може да се добие нов материјален филм сосема различен од целта.На пример, силиконот се користи како цел за распрскување, а кислородот и аргонот се ставаат заедно во вакуумската комора.По прскање, може да се добие изолационен филм SiOz.Со користење на титаниум како цел за распрскување, азот и аргон се ставаат заедно во вакуумската комора, а по распрскувањето може да се добие златен филм од фазата TiN.
④ Висока чистота и добар квалитет на филмот
Со оглед на тоа што нема компонента на садот за подготовка на филмот за распрскување, компонентите на материјалот за грејач на садот нема да се мешаат во слојот на филмот за распрскување.Недостатоците на облогата со распрскување се дека брзината на формирање на филмот е побавна од онаа на облогата со испарување, температурата на подлогата е повисока, лесно е да се влијае на нечистотијата на гасот, а структурата на уредот е посложена.
Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа, производител наопрема за вакуум обложување
Време на објавување: Мар-09-2023 година