1. Стапката на испарување ќе влијае на својствата на испарената обвивка
Стапката на испарување има големо влијание врз депонираниот филм.Бидејќи структурата на облогата формирана од ниската стапка на таложење е лабава и лесно се создава таложење на големи честички, многу е безбедно да се избере повисока стапка на испарување за да се обезбеди компактност на структурата на облогата.Кога притисокот на преостанатиот гас во вакуумската комора е константен, стапката на бомбардирање на подлогата е константна вредност.Затоа, преостанатиот гас содржан во депонираниот филм по избор на повисока стапка на таложење ќе се намали, со што ќе се намали хемиската реакција помеѓу молекулите на преостанатиот гас и честичките од испаруваниот филм.Затоа, чистотата на депонираниот филм може да се подобри.Треба да се забележи дека ако стапката на таложење е пребрза, може да го зголеми внатрешниот стрес на филмот, да ги зголеми дефектите во филмот, па дури и да доведе до пукање на филмот.Особено, во процесот на обложување со реактивно испарување, со цел реакциониот гас целосно да реагира со честичките од материјалот за испарувачки филм, можете да изберете помала стапка на таложење.Се разбира, различни материјали избираат различни стапки на испарување.Како практичен пример – таложење на рефлектирачката фолија, ако дебелината на филмот е 600×10-8 cm и времето на испарување е 3 секунди, рефлексивноста е 93%.Меѓутоа, ако стапката на испарување е забавена во услови на иста дебелина, потребни се 10 минути за да се заврши таложењето на филмот.Во тоа време, дебелината на филмот е иста.Сепак, рефлексивноста падна на 68%.
2. Температурата на подлогата ќе влијае на облогата за испарување
Температурата на подлогата има големо влијание врз испарувачката обвивка.Резидуалните молекули на гас што се адсорбираат на површината на подлогата при висока температура на подлогата лесно се отстрануваат.Особено е поважна елиминацијата на молекулите на водена пареа.Покрај тоа, на повисоки температури, не само што е лесно да се промовира трансформацијата од физичка адсорпција во хемиска адсорпција, со што се зголемува врзувачката сила помеѓу честичките.Освен тоа, може да ја намали и разликата помеѓу температурата на рекристализација на молекулите на пареа и температурата на подлогата, со што се намалува или елиминира внатрешниот стрес на интерфејсот базиран на филм.Дополнително, бидејќи температурата на подлогата е поврзана со кристалната состојба на филмот, често е лесно да се формираат аморфни или микрокристални облоги под услов на ниска температура на подлогата или без загревање.Напротив, кога температурата е висока, лесно е да се формира кристален слој.Зголемувањето на температурата на подлогата исто така придонесува за подобрување на механичките својства на облогата.Се разбира, температурата на подлогата не треба да биде премногу висока за да се спречи испарување на облогата.
3. Преостанатиот притисок на гасот во вакуумската комора ќе влијае на својствата на филмот
Притисокот на резидуалниот гас во вакуумската комора има големо влијание врз работата на мембраната.Преостанатите молекули на гас со превисок притисок не само што лесно се судираат со честичките што испаруваат, што ќе ја намали кинетичката енергија на луѓето на подлогата и ќе влијае на адхезијата на филмот.Покрај тоа, превисокиот преостанат притисок на гас сериозно ќе влијае на чистотата на филмот и ќе ги намали перформансите на облогата.
4. Ефект на температурата на испарување на облогата за испарување
Ефектот на температурата на испарување врз перформансите на мембраната се покажува со промената на стапката на испарување со температурата.Кога температурата на испарување е висока, топлината на испарување ќе се намали.Ако мембранскиот материјал се испари над температурата на испарување, дури и мала промена на температурата може да предизвика остра промена во стапката на испарување на мембранскиот материјал.Затоа, многу е важно точно да се контролира температурата на испарување за време на таложењето на филмот за да се избегне голем температурен градиент кога се загрева изворот на испарување.За филмскиот материјал кој лесно се сублимира, исто така е многу важно да се избере самиот материјал како грејач за испарување и други мерки.
5. Состојбата на чистење на подлогата и комората за обложување ќе влијае на перформансите на облогата
Ефектот на чистотата на подлогата и комората за обложување врз работата на облогата не може да се игнорира.Тоа не само што сериозно ќе влијае на чистотата на депонираниот филм, туку и ќе ја намали адхезијата на филмот.Затоа, прочистувањето на подлогата, третманот за чистење на комората за обложување со вакуум и нејзините сродни компоненти (како што е рамката на подлогата) и дегасирањето на површината се незаменливи процеси во процесот на вакуумско обложување.
Време на објавување: 28 февруари 2023 година