Вовед во конвенционалните техники за таложење тврди облоги

1. Термичка CVD технологија

Цврстите облоги се претежно метал-керамички облоги (TiN и др.), кои се формираат со реакција на металот во облогата и реактивна гасификација.Отпрвин, термалната CVD технологија беше искористена за да се обезбеди енергија за активирање на комбинираната реакција со топлинска енергија на висока температура од 1000 ℃.Оваа температура е погодна само за таложење на TiN и други тврди премази на цементирани карбидни алатки.Досега, сè уште е важна технологија за депонирање на композитни облоги TiN-Al20 на глави на алат од цементиран карбид.

2. Шуплива катодна јонска обвивка и обвивка со лак со топла жица

Во 1980-тите, шуплива катодна јонска обвивка и облога со лак со топла жица се користеа за депонирање на обложени алатки за сечење.И двете од овие технологии за јонско обложување се технологии за јонско обложување со празнење на лак, со стапка на јонизација на метал до 20% ~ 40%.

3. јонска обвивка со катоден лак

Појавата на јонска обвивка со катоден лак доведе до развој на технологијата на таложење тврди облоги на калапи.Стапката на јонизација на облогата со јонски катоден лак е 60% ~ 90%, дозволувајќи им на голем број метални јони и јони на реакциониот гас да стигнат до површината на работното парче и сепак да одржуваат висока активност, што резултира со таложење на реакцијата и формирање на тврди облоги како што се TiN.Во моментов, технологијата за обложување со јонски катоден лак главно се користи за таложење тврди облоги на калапи.

Изворот на катодниот лак е извор на испарување во цврста состојба без фиксиран растопен базен, а позицијата на изворот на лакот може произволно да се постави, со што се подобрува стапката на искористување на просторот во просторијата за обложување и се зголемува капацитетот за полнење на печката.Облиците на изворите на катодниот лак вклучуваат мали кружни извори на катоден лак, извори на колонообразен лак и правоаголни рамни големи извори на лак.Различните компоненти на малите извори на лак, изворите на колонообразен лак и големите извори на лак може да се распоредат посебно за да се депонираат повеќеслојни филмови и нано повеќеслојни филмови.Во меѓувреме, поради високата стапка на јонизација на металот на облогата со катоден лак, металните јони можат да апсорбираат повеќе реакциони гасови, што резултира со широк опсег на процеси и едноставна операција за да се добијат одлични тврди облоги.Сепак, постојат груби капки во микроструктурата на слојот за обложување добиени со обложување со јонски катоден лак.Во последниве години, се појавија многу нови технологии за да се подобри структурата на филмскиот слој, што го подобри квалитетот на филмот за обложување со лачен јонски слој.

——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа Технологија, апроизводител на машини за оптички облоги.