Процес на директна полимеризација на плазмата
Процесот на плазма полимеризација е релативно едноставен и за опремата за внатрешна полимеризација на електроди и за опремата за полимеризација на надворешна електрода, но изборот на параметри е поважен при полимеризацијата на плазмата, бидејќи параметрите имаат поголемо влијание врз структурата и перформансите на полимерните филмови за време на полимеризацијата со плазма.
Работните чекори за директна плазма полимеризација се како што следува:
(1) Правосмукалка
Позадинскиот вакуум на полимеризација во вакуумски услови треба да се испумпува до 1,3×10-1Pa.За реакции на полимеризација кои бараат посебни барања за контролирање на содржината на кислород или азот, потребата за вакуум во позадина е уште поголема.
(2) Мономер за реакција на полнење или мешан гас од носач на гас и мономер
Степенот на вакуум е 13-130Pa.За плазма полимеризација која бара работа, треба да се изберат соодветен режим на контрола на протокот и брзина на проток, генерално 10,100 mL/min.Во плазмата, мономерните молекули се јонизираат и се дисоцираат со бомбардирање на енергетски честички, што резултира со активни честички како што се јони и активни гени.Активните честички активирани од плазмата можат да подлежат на плазма полимеризација на интерфејсот на гасната и цврстата фаза.Мономерот е извор на претходник за плазма полимеризација, а влезниот реакционен гас и мономер треба да имаат одредена чистота.
(3) Избор на напојување за побудување
Плазмата може да се генерира со користење на DC, висока фреквенција, RF или микробранови извори на енергија за да се обезбеди плазма средина за полимеризација.Изборот на напојување се одредува врз основа на барањата за структурата и перформансите на полимерот.
(4) Избор на режим на празнење
За барањата за полимер, плазма полимеризацијата може да избере два режими на празнење: континуирано празнење или пулсно празнење.
(5) Избор на параметри за испуштање
При спроведување на плазма полимеризација, параметрите на празнење треба да се земат предвид од параметрите на плазмата, својствата на полимерот и барањата за структурата.Големината на применетата моќност за време на полимеризацијата се одредува според волуменот на вакуумската комора, големината на електродата, брзината и структурата на протокот на мономерот, стапката на полимеризација и структурата и перформансите на полимерот.На пример, ако волуменот на комората за реакција е 1L и е усвоена RF плазма полимеризација, моќноста на празнење ќе биде во опсег од 10~30W.Во такви услови, генерираната плазма може да се агрегира за да формира тенок филм на површината на работното парче.Стапката на раст на плазма полимеризацискиот филм варира во зависност од напојувањето, типот на мономер и брзината на проток и условите на процесот.Општо земено, стапката на раст е 100nm/min~1um/min.
(6) Мерење на параметри во плазма полимеризација
Плазма параметрите и параметрите на процесот што треба да се мерат при плазма полимеризација вклучуваат: напон на празнење, струја на празнење, фреквенција на празнење, температура на електрони, густина, тип и концентрација на групата на реакција итн.
——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа Технологија, апроизводител на машини за оптички облоги.
Време на објавување: мај-05-2023 година