Процесен тек на машина за обложување со распрскување

1. Подлога за чистење со бомбардирање

1.1) Машината за премачкување користи сјајно празнење за чистење на подлогата.Тоа е да се каже, наполнете го гасот аргон во комората, напонот на празнење е околу 1000 V, по вклучувањето на напојувањето, се генерира празнење на сјај, а подлогата се чисти со бомбардирање со аргон јони.

1.2) Во машините за премачкување со прскање кои индустриски произведуваат украси со висока класа, јоните на титаниум што се испуштаат од малите извори на лак најчесто се користат за чистење.Машината за обложување е опремена со мал извор на лак, а протокот на титаниум јони во лачната плазма генериран од празнењето на малиот извор на лак се користи за бомбардирање и чистење на подлогата.

2. Облога од титаниум нитрид

При депонирање на тенки фолии од титаниум нитрид, целниот материјал за распрскување е целта на титаниум.Целниот материјал е поврзан со негативната електрода на напојувањето за распрскување, а целниот напон е 400~500V;Флуксот на аргон е фиксиран, а контролниот вакуум е (3~8) x10^-1PA.Подлогата е поврзана со негативната електрода на пристрасното напојување, со напон од 100~200V.

По вклучувањето на напојувањето на целта на титаниум што се распрснува, се генерира празнење на сјај, а јоните на аргон со висока енергија ја бомбардираат целта за распрскување, исфрлајќи ги атомите на титаниум од целта.

Реакциониот гас азот се внесува, а атомите на титаниум и азот се јонизираат во јони на титаниум и азотни јони во комората за обложување.Под привлекување на негативното пристрасно електрично поле кое се применува на подлогата, јоните на титаниум и азотните јони се забрзуваат до површината на подлогата за хемиска реакција и таложење за да формираат филмски слој од титаниум нитрид.

3. Извадете ја подлогата

Откако ќе ја достигнете предодредената дебелина на филмот, исклучете ги напојувањето со прскање, напојувањето со пристрасност на подлогата и изворот на воздух.Откако температурата на подлогата е помала од 120 ℃, наполнете ја комората за обложување со воздух и извадете ја подлогата.

Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за премачкување со магнетрон– Гуангдонг Женхуа.