Процесот на обложување со шупливи катодни јони е како што следува:
1, Ставете ги инготите на брадата во колапс.
2, Монтирање на работното парче.
3, По евакуацијата до 5×10-3Pa, гасот аргон се внесува во комората за обложување од сребрената цевка, а нивото на вакуум е околу 100Pa.
4, Вклучете ја моќта на пристрасност.
5, Откако ќе го вклучите напојувањето на лакот за да го запали шупливото катодно празнење. Празнењето на сјајот се генерира во цевката за копче, напонот на празнење е 800~1000V, струјата на подигање на лакот е 30~50A. Поради ефектот на шуплива катода на сјајот празнење,Густина струја на празнење со висок сјај,Големата густина на јоните на стаорецот во сребрената цевка го бомбардира ѕидот на гледната цевка, Направете ѕидот на цевката брзо да се загрее до емисијата на проток на електрони, режимот на празнење од празнењето на сјајот ненадејна промена во лак празнење, Напонот е 40 ~ 70 V, струјата е 80 ~ 300 А. Температурата на сребрената цевка достигнува над 2300 K, блескаво, емитира проток на лачни електрони со висока густина од цевката и пука до анодата.
6, Прилагодување на нивото на вакуум. Нивото на вакуум за празнење на сјајот од шупливиот катоден пиштол е околу 100 Pa, а вакуумскиот степен на облога е 8×10-1~2Pa. Затоа, по палењето на празнењето на лакот, Намалете го дојдовниот аргон гас што е можно поскоро, Прилагодете го нивото на вакуум до опсег погоден за обложување.
7. Основен слој обложен со титаниум. Проток на електрони на анодично срушениот метален ингот на брадата, Конверзија на кинетичката енергија во топлинска енергија, испарување на металот на брадата со загревање, атомите на пареа стигнуваат до работното парче за да формираат титаниумска фолија.
8, таложење на TiN. Стапката на метална дисоцијација е висока до 20% ~ 40%., јоните на титаниум имаат поголема веројатност да реагираат хемиски со азот од реакцискиот гас, таложење за да се добие слој од нитридна обвивка. Шупливиот катоден пиштол е и извор на испарување, Друг извор на јонизација.За време на обложување,Треба да се прилагоди и струјата на електромагнетниот калем околу садот,Фокусирајте го електронскиот зрак кон центарот на колапсот,Така, густината на моќноста на протокот на електрони се зголемува.
9, Исклучено напојување. Откако дебелината на филмот ќе ја достигне однапред одредената дебелина на филмот, исклучете го напојувањето со лак, пристрасно напојување и снабдување со воздух.
Време на објавување: јули-08-2023 година