Законот за раст на вакуум испарување слој филм слој

За време на облогата со испарување, нуклеацијата и растот на филмскиот слој се основа на различни технологии за јонско обложување

1.Нуклеација

InТехнологија на обложување со вакуумско испарување, откако честичките на филмскиот слој ќе испарат од изворот на испарување во форма на атоми, тие летаат директно до работното парче во висок вакуум и го формираат филмскиот слој со нуклеација и раст на површината на работното парче.За време на вакуумското испарување, енергијата на атомите на филмскиот слој што излегуваат од изворот на испарување е околу 0,2eV.Кога кохезијата помеѓу честичките на филмскиот слој е поголема од силата на врзување помеѓу атомите на филмскиот слој и работното парче, формирајте островско јадро.Еден атом од еден филмски слој останува на површината на работното парче за времетраењето на времето правејќи неправилно движење, дифузија, миграција или судир со други атоми за да формираат атомски кластери Бројот на атоми во атомскиот кластер достигнува одредена критична вредност, стабилна се формира јадро, наречено јадро со хомогена форма.

мазна, и содржи многу дефекти и чекори, што предизвикува разлика во силата на адсорпција на различни делови од работното парче до радиоактивните атоми.Енергијата на адсорпција на површината на дефектот е поголема од онаа на нормалната површина, така што таа станува активен центар, што е погодно за преференцијална нуклеација, наречена хетерогена нуклеација.Кога кохезивната сила е еднаква на силата на врзување, или силата на врзување помеѓу атомите на мембраната и работното парче е поголема од кохезивната сила помеѓу атомите на мембраната, се формира ламеларна структура.Во технологијата на јонско обложување, во повеќето случаи се формира островско јадро.

2. Раст

Откако ќе се формира јадрото на филмот, тој продолжува да расте со заробување на инцидентните атоми.

Кога атомската енергија на филмскиот слој е висока, тој може доволно да дифузира на површината и може да се формира мазен континуиран филм кога следните влезни атомски кластери се мали. Ако дифузијата на атомите на површината е слаба и големината на депонираните кластери се големи, тие постојат како големи полуостровски јадра. Врвот на јадрото на островот има силен ефект на засенчување на конкавниот дел, тоа е „ефектот на сенка“. Проекцијата на површината е попогодна за фаќање последователни депонирани атоми и преференцијален раст, што резултира со зголемен степен на конкавност на површината за да се формираат конусни или колонообразни кристали со доволна големина.Помеѓу конусните кристали се формираат продорни празнини и се зголемува вредноста на грубоста на површината. Фино ткиво може да се добие при висок вакуум, со намалување на степенот на вакуум, микроструктурата на мембраната станува погуста и погуста.