Технологија на таложење со помош на јонски зрак

Всушност, технологијата на таложење со помош на јонски зрак е композитна технологија.Тоа е композитна техника за третман на површински јони која комбинира технологија на јонска имплантација и физичко таложење на пареа, како и нов тип на техника за оптимизација на површината на јонскиот зрак.Покрај предностите на физичкото таложење на пареа, оваа техника може континуирано да расте филм со дебелина под построги контролни услови, значително да ја подобри кристалноста и ориентацијата на слојот на филмот, да ја зголеми силата на адхезија на филмскиот слој/подлогата, да ја подобри густината на филмскиот слој и синтетизираат сложени филмови со идеални стехиометриски соодноси на блиска собна температура, вклучувајќи нови типови на филмови кои не можат да се добијат на собна температура и притисок.Таложењето со помош на јонски сноп не само што ги задржува предностите на процесот на имплантација на јони, туку исто така може да ја покрие подлогата со сосема различен филм од подлогата.
Во сите видови на физичко таложење на пареа и хемиско таложење на пареа, може да се додадат збир на помошни јонски пиштоли за бомбардирање за да се формира IBAD систем, а постојат два општи процеси IBAD како што следува, како што е прикажано на сликата:

Како што е прикажано на слика (а), извор на испарување на електронски сноп се користи за зрачење на слојот на филмот со јонскиот зрак што се емитува од јонскиот пиштол, со што се реализира таложење со помош на јонски зрак.Предноста е што енергијата и насоката на јонскиот зрак може да се прилагодат, но само една или ограничена легура или соединение може да се користи како извор на испарување, а секој парен притисок на компонентата и соединението на легурата е различен, што го отежнува за да се добие филмскиот слој од оригиналниот состав на изворот на испарување.
Сликата (б) покажува таложење со помош на прскање со јонски зрак, кое е познато и како таложење со распрскување со двоен јонски зрак, во кое како извор се користи целта направена од материјал за премачкување со јонски зрак, производите за распрскување.Додека се депонира на подлогата, таложењето со помош на прскање со јонски сноп се постигнува со зрачење со друг извор на јони.Предноста на овој метод е што самите распрскани честички имаат одредена енергија, така што има подобра адхезија со подлогата;која било компонента на целта може да биде распрскана облога, но исто така може да биде реакција прскање во филмот, лесно да се прилагоди составот на филмот, но неговата ефикасност на таложење е ниска, целта е скапа и има проблеми како што се селективно прскање.