Опремата за чистење со вакуумска плазма усвојува интегрирана структура, опремена со систем за чистење RF јони, целосно автоматска контрола, практично ракување и одржување.
RF генераторот со висока фреквенција може да генерира плазма со висока густина, да ја активира, огреби и пепел површината на работното парче, ефикасно да ја отстрани прашината и маснотиите на површината на производот, да го ослободи површинскиот стрес и да добие различни модификации на површината на работното парче.
Применливо е за гума, стакло, керамика, метал и други производи и се применува на микроелектроника, LCD, LED, LCM, PCB коло, полупроводничка амбалажа, медицински уреди, експерименти за животни науки и други области.