സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ സവിശേഷതകൾ

സിവിഡി കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:

1. CVD ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രോസസ്സ് ഓപ്പറേഷൻ താരതമ്യേന ലളിതവും വഴക്കമുള്ളതുമാണ്, കൂടാതെ വ്യത്യസ്ത അനുപാതങ്ങളുള്ള സിംഗിൾ അല്ലെങ്കിൽ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമുകളും അലോയ് ഫിലിമുകളും തയ്യാറാക്കാൻ ഇതിന് കഴിയും;

2. CVD കോട്ടിംഗിന് വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ ഉണ്ട്, കൂടാതെ വിവിധ മെറ്റൽ അല്ലെങ്കിൽ മെറ്റൽ ഫിലിം കോട്ടിംഗുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കാം;

3. മിനിറ്റിൽ ഏതാനും മൈക്രോൺ മുതൽ നൂറുകണക്കിന് മൈക്രോൺ വരെയുള്ള നിക്ഷേപ നിരക്ക് കാരണം ഉയർന്ന ഉൽപ്പാദനക്ഷമത;

4. പിവിഡി രീതിയുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സിവിഡിക്ക് മികച്ച ഡിഫ്രാക്ഷൻ പ്രകടനമുണ്ട്, മാത്രമല്ല ഗ്രോവുകൾ, പൂശിയ ദ്വാരങ്ങൾ, അന്ധമായ ദ്വാര ഘടനകൾ എന്നിവ പോലുള്ള സങ്കീർണ്ണമായ ആകൃതികളുള്ള അടിവസ്ത്രങ്ങൾ പൂശാൻ ഇത് വളരെ അനുയോജ്യമാണ്.കോട്ടിംഗ് നല്ല ഒതുക്കമുള്ള ഒരു ഫിലിമിൽ പ്ലേറ്റ് ചെയ്യാം.ഫിലിം രൂപീകരണ പ്രക്രിയയിലെ ഉയർന്ന താപനിലയും ഫിലിം സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഇന്റർഫേസിലെ ശക്തമായ അഡീഷനും കാരണം, ഫിലിം പാളി വളരെ ഉറച്ചതാണ്.

5. റേഡിയേഷൻ മൂലമുണ്ടാകുന്ന കേടുപാടുകൾ താരതമ്യേന കുറവാണ്, കൂടാതെ MOS ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് പ്രക്രിയകളുമായി സംയോജിപ്പിക്കാനും കഴിയും.

——ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് ഗ്വാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ, എവാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്