സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഫിലിമുകളുടെ സവിശേഷതകൾ

① ഫിലിം കനം നല്ല നിയന്ത്രണവും ആവർത്തനക്ഷമതയും

ഫിലിമിന്റെ കനം മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച മൂല്യത്തിൽ നിയന്ത്രിക്കാനാകുമോ എന്നതിനെയാണ് ഫിലിം കനം കൺട്രോളബിലിറ്റി എന്ന് പറയുന്നത്.ആവശ്യമായ ഫിലിം കനം പല പ്രാവശ്യം ആവർത്തിക്കാം, ഇതിനെ ഫിലിം കനം റിപ്പീറ്റബിലിറ്റി എന്ന് വിളിക്കുന്നു. കാരണം വാക്വം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റും ടാർഗെറ്റ് കറന്റും വെവ്വേറെ നിയന്ത്രിക്കാനാകും.അതിനാൽ, സ്പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിന്റെ കനം നിയന്ത്രിക്കാവുന്നതാണ്, മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കനം ഉള്ള ഫിലിം വിശ്വസനീയമായി നിക്ഷേപിക്കാം.കൂടാതെ, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന് ഒരു വലിയ പ്രതലത്തിൽ യൂണിഫോം കനം ഉള്ള ഒരു ഫിലിം ലഭിക്കും.

② ഫിലിമിനും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള ശക്തമായ അഡിഷൻ

ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളേക്കാൾ 1-2 ഓർഡറുകൾ കൂടുതലാണ് സ്പട്ടർ ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജം.അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജസ്വലമായ ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജ പരിവർത്തനം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്, ഇത് ഉയർന്ന താപം സൃഷ്ടിക്കുകയും സ്പട്ടർ ആറ്റങ്ങളും അടിവസ്ത്രവും തമ്മിലുള്ള അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.കൂടാതെ, ചില ഉയർന്ന ഊർജ്ജസ്വലമായ ആറ്റങ്ങൾ വ്യത്യസ്ത അളവിലുള്ള കുത്തിവയ്പ്പ് ഉത്പാദിപ്പിക്കുകയും, അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു സ്യൂഡോഡിഫ്യൂഷൻ പാളി ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.കൂടാതെ, ഫിലിം രൂപീകരണ പ്രക്രിയയിൽ പ്ലാസ്മ മേഖലയിൽ അടിവസ്ത്രം എല്ലായ്പ്പോഴും വൃത്തിയാക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ദുർബലമായ ബീജസങ്കലനത്തോടെ സ്പട്ടറിംഗ് ആറ്റങ്ങളെ നീക്കംചെയ്യുകയും അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തെ ശുദ്ധീകരിക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.അതിനാൽ, സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിന് അടിവസ്ത്രത്തിൽ ശക്തമായ അഡിഷൻ ഉണ്ട്.

③ ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായ പുതിയ മെറ്റീരിയൽ ഫിലിം തയ്യാറാക്കാം

ടാർഗെറ്റുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കുന്നതിന് സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകം അവതരിപ്പിക്കുകയാണെങ്കിൽ, ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു പുതിയ മെറ്റീരിയൽ ഫിലിം ലഭിക്കും.ഉദാഹരണത്തിന്, സിലിക്കൺ സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഓക്സിജനും ആർഗണും ഒരുമിച്ച് വാക്വം ചേമ്പറിൽ ഇടുന്നു.സ്പട്ടറിംഗ് കഴിഞ്ഞ്, SiOz ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിം ലഭിക്കും.ടൈറ്റാനിയം സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റായി ഉപയോഗിച്ച്, നൈട്രജനും ആർഗണും ഒരുമിച്ച് വാക്വം ചേമ്പറിലേക്ക് ഇടുന്നു, കൂടാതെ ഘട്ടം ടിഎൻ സ്വർണ്ണം പോലെയുള്ള ഫിലിം സ്‌പട്ടറിംഗ് കഴിഞ്ഞ് ലഭിക്കും.

④ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയും നല്ല നിലവാരമുള്ള ഫിലിം

സ്‌പട്ടറിംഗ് ഫിലിം തയ്യാറാക്കൽ ഉപകരണത്തിൽ ക്രൂസിബിൾ ഘടകം ഇല്ലാത്തതിനാൽ, സ്‌പട്ടറിംഗ് ഫിലിം ലെയറിൽ ക്രൂസിബിൾ ഹീറ്റർ മെറ്റീരിയലിന്റെ ഘടകങ്ങൾ മിശ്രണം ചെയ്യില്ല.സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ പോരായ്മകൾ, ഫിലിം രൂപീകരണ വേഗത ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗിനെ അപേക്ഷിച്ച് മന്ദഗതിയിലാണ്, അടിവസ്ത്ര താപനില കൂടുതലാണ്, അശുദ്ധമായ വാതകം ബാധിക്കുന്നത് എളുപ്പമാണ്, ഉപകരണ ഘടന കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാണ്.

ഈ ലേഖനം നിർമ്മാതാവായ ഗ്വാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻ‌ഹുവയാണ് പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ