ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് എൻഹാൻസ്ഡ് പ്ലാസ്മ കെമിക്കൽ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ, ആർക്ക് പ്ലാസ്മ പുറത്തുവിടാൻ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇതിനെ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് പിഇസിവിഡി സാങ്കേതികവിദ്യ എന്ന് ചുരുക്കി വിളിക്കുന്നു.ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് സമാനമാണ്, എന്നാൽ വ്യത്യാസം, ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ അയോൺ കോട്ടിംഗ് വഴി ലഭിക്കുന്ന സോളിഡ് ഫിലിം, ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ഗൺ പുറത്തുവിടുന്ന ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഇലക്ട്രോൺ ഫ്ലോ ഉപയോഗിച്ച് ലോഹത്തെ ചൂടാക്കാനും ബാഷ്പീകരിക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു. ക്രസിബിൾ, അതേസമയം ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് ലൈറ്റ് PECVD ഡയമണ്ട് ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന CH4, H2 എന്നിവ പോലുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങളാൽ നൽകപ്പെടുന്നു.ചൂടുള്ള വയർ ആർക്ക് തോക്ക് പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് കറന്റിനെ ആശ്രയിച്ച്, വാതക അയോണുകൾ, ആറ്റോമിക് അയോണുകൾ, സജീവ ഗ്രൂപ്പുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ സജീവ കണങ്ങൾ ലഭിക്കാൻ റിയാക്ടീവ് ഗ്യാസ് അയോണുകൾ ആവേശഭരിതരാകുന്നു.
ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് പിഇസിവിഡി ഉപകരണത്തിൽ, കോട്ടിംഗ് റൂമിന് പുറത്ത് രണ്ട് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലുകൾ ഇപ്പോഴും സ്ഥാപിച്ചിട്ടുണ്ട്, ഇത് ആനോഡിലേക്കുള്ള ചലനത്തിനിടയിൽ ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ഇലക്ട്രോൺ ഫ്ലോ കറങ്ങുന്നതിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിനും പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകത്തിനും ഇടയിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെയും അയോണൈസേഷന്റെയും സംഭാവ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. .മുഴുവൻ ഡിപ്പോസിഷൻ ചേമ്പറിന്റെയും പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലിന് ഒരു ആർക്ക് കോളമായി കൂടിച്ചേരാനും കഴിയും.ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിൽ, ഈ സജീവ കണങ്ങളുടെ സാന്ദ്രത കൂടുതലാണ്, ഇത് ഡയമണ്ട് ഫിലിമുകളും മറ്റ് ഫിലിം പാളികളും വർക്ക്പീസിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നത് എളുപ്പമാക്കുന്നു.
——ഈ ലേഖനം പുറത്തിറക്കിയത് Guangdong Zhenhua Technology, aഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.
പോസ്റ്റ് സമയം: മെയ്-05-2023