ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിനുള്ള പരമ്പരാഗത സാങ്കേതികതകളിലേക്കുള്ള ആമുഖം

1. തെർമൽ സിവിഡി സാങ്കേതികവിദ്യ

ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകൾ കൂടുതലും മെറ്റൽ സെറാമിക് കോട്ടിംഗുകളാണ് (TiN, മുതലായവ), ഇത് കോട്ടിംഗിലെ ലോഹത്തിന്റെ പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിലൂടെയും റിയാക്ടീവ് ഗ്യാസിഫിക്കേഷനിലൂടെയും രൂപം കൊള്ളുന്നു.ആദ്യം, 1000 ℃ ഉയർന്ന താപനിലയിൽ താപ ഊർജ്ജം ഉപയോഗിച്ച് കോമ്പിനേഷൻ പ്രതികരണത്തിന്റെ സജീവമാക്കൽ ഊർജ്ജം നൽകാൻ താപ CVD സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ചു.സിമന്റഡ് കാർബൈഡ് ടൂളുകളിൽ TiN ഉം മറ്റ് ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകളും നിക്ഷേപിക്കാൻ മാത്രമേ ഈ താപനില അനുയോജ്യമാകൂ.ഇതുവരെ, സിമന്റ് കാർബൈഡ് ടൂൾ ഹെഡുകളിൽ TiN-Al20 കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നത് ഇപ്പോഴും ഒരു പ്രധാന സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്.

2. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ കോട്ടിംഗും ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗും

1980-കളിൽ, പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ കോട്ടിംഗും ഹോട്ട് വയർ ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗും കോട്ടഡ് കട്ടിംഗ് ടൂളുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിച്ചു.ഈ രണ്ട് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളും ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളാണ്, ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് 20%~40% വരെയാണ്.

3. കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ്

കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ ആവിർഭാവം അച്ചുകളിൽ ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികാസത്തിലേക്ക് നയിച്ചു.കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് 60%~90% ആണ്, ഇത് ഒരു വലിയ സംഖ്യ ലോഹ അയോണുകളും പ്രതിപ്രവർത്തന വാതക അയോണുകളും വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെത്താനും ഉയർന്ന പ്രവർത്തനം നിലനിർത്താനും അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് പ്രതിപ്രവർത്തന നിക്ഷേപത്തിനും ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകളുടെ രൂപീകരണത്തിനും കാരണമാകുന്നു. ടിഎൻ.നിലവിൽ, കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ പ്രധാനമായും അച്ചുകളിൽ ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ഒരു നിശ്ചിത ഉരുകിയ പൂൾ ഇല്ലാതെ ഒരു സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സാണ്, കൂടാതെ ആർക്ക് സോഴ്സ് സ്ഥാനം ഏകപക്ഷീയമായി സ്ഥാപിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് കോട്ടിംഗ് റൂമിന്റെ സ്പേസ് വിനിയോഗ നിരക്ക് മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചൂള ലോഡിംഗ് ശേഷി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകളുടെ രൂപങ്ങളിൽ ചെറിയ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള കാഥോഡ് ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ, നിരകളുള്ള ആർക്ക് ഉറവിടങ്ങൾ, ദീർഘചതുരാകൃതിയിലുള്ള പരന്ന വലിയ ആർക്ക് ഉറവിടങ്ങൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിമുകളും നാനോ മൾട്ടിലെയർ ഫിലിമുകളും നിക്ഷേപിക്കുന്നതിന് ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ, കോളം ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ, വലിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ എന്നിവയുടെ വ്യത്യസ്ത ഘടകങ്ങൾ പ്രത്യേകം ക്രമീകരിക്കാം.അതേസമയം, കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ ഉയർന്ന ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് കാരണം, ലോഹ അയോണുകൾക്ക് കൂടുതൽ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകങ്ങളെ ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും, ഇത് വിശാലമായ പ്രോസസ്സ് ശ്രേണിയും മികച്ച ഹാർഡ് കോട്ടിംഗുകൾ നേടുന്നതിനുള്ള ലളിതമായ പ്രവർത്തനവും നൽകുന്നു.എന്നിരുന്നാലും, കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് വഴി ലഭിച്ച കോട്ടിംഗ് പാളിയുടെ സൂക്ഷ്മഘടനയിൽ പരുക്കൻ തുള്ളികൾ ഉണ്ട്.സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, ഫിലിം പാളിയുടെ ഘടന പരിഷ്കരിക്കുന്നതിന് നിരവധി പുതിയ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഉയർന്നുവന്നിട്ടുണ്ട്, ഇത് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് ഫിലിമിന്റെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തി.

——ഈ ലേഖനം പുറത്തിറക്കിയത് Guangdong Zhenhua Technology, aഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.