പ്ലാസ്മ നേരിട്ടുള്ള പോളിമറൈസേഷൻ പ്രക്രിയ

പ്ലാസ്മ നേരിട്ടുള്ള പോളിമറൈസേഷൻ പ്രക്രിയ

ആന്തരിക ഇലക്ട്രോഡ് പോളിമറൈസേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കും ബാഹ്യ ഇലക്ട്രോഡ് പോളിമറൈസേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കും പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ പ്രക്രിയ താരതമ്യേന ലളിതമാണ്, എന്നാൽ പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷനിൽ പാരാമീറ്റർ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ കൂടുതൽ പ്രധാനമാണ്, കാരണം പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ സമയത്ത് പോളിമർ ഫിലിമുകളുടെ ഘടനയിലും പ്രകടനത്തിലും പാരാമീറ്ററുകൾ കൂടുതൽ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു.

നേരിട്ടുള്ള പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷന്റെ പ്രവർത്തന ഘട്ടങ്ങൾ ഇപ്രകാരമാണ്:

(1) വാക്വമിംഗ്

വാക്വം അവസ്ഥയിൽ പോളിമറൈസേഷന്റെ പശ്ചാത്തല വാക്വം 1.3×10-1Pa ലേക്ക് പമ്പ് ചെയ്യണം.ഓക്സിജൻ അല്ലെങ്കിൽ നൈട്രജൻ ഉള്ളടക്കം നിയന്ത്രിക്കുന്നതിന് പ്രത്യേക ആവശ്യകതകൾ ആവശ്യമുള്ള പോളിമറൈസേഷൻ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക്, പശ്ചാത്തല വാക്വം ആവശ്യകത ഇതിലും കൂടുതലാണ്.

(2) കാരിയർ ഗ്യാസിന്റെയും മോണോമറിന്റെയും ചാർജ് റിയാക്ഷൻ മോണോമർ അല്ലെങ്കിൽ മിക്സഡ് ഗ്യാസ്

വാക്വം ഡിഗ്രി 13-130Pa ആണ്.ജോലി ആവശ്യമായ പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷനായി, ഉചിതമായ ഫ്ലോ നിയന്ത്രണ മോഡും ഫ്ലോ റേറ്റും തിരഞ്ഞെടുക്കണം, സാധാരണയായി 10.100mL/min.പ്ലാസ്മയിൽ, മോണോമർ തന്മാത്രകൾ അയോണൈസ് ചെയ്യപ്പെടുകയും ഊർജ്ജസ്വലമായ കണങ്ങളുടെ ബോംബാക്രമണത്തിലൂടെ വിഘടിപ്പിക്കപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു, അതിന്റെ ഫലമായി അയോണുകളും സജീവ ജീനുകളും പോലുള്ള സജീവ കണങ്ങൾ ഉണ്ടാകുന്നു.പ്ലാസ്മ സജീവമാക്കുന്ന സജീവ കണങ്ങൾക്ക് വാതക ഘട്ടത്തിന്റെയും സോളിഡ് ഫേസിന്റെയും ഇന്റർഫേസിൽ പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ നടത്താം.മോണോമർ പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷന്റെ മുൻഗാമിയാണ്, ഇൻപുട്ട് റിയാക്ഷൻ ഗ്യാസിനും മോണോമറിനും നിശ്ചിത പരിശുദ്ധി ഉണ്ടായിരിക്കും.

(3) എക്സൈറ്റേഷൻ പവർ സപ്ലൈയുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ്

പോളിമറൈസേഷനായി പ്ലാസ്മ അന്തരീക്ഷം നൽകുന്നതിന് ഡിസി, ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി, ആർഎഫ് അല്ലെങ്കിൽ മൈക്രോവേവ് പവർ സ്രോതസ്സുകൾ ഉപയോഗിച്ച് പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും.പോളിമറിന്റെ ഘടനയ്ക്കും പ്രകടനത്തിനുമുള്ള ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയാണ് വൈദ്യുതി വിതരണത്തിന്റെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ് നിർണ്ണയിക്കുന്നത്.

(4) ഡിസ്ചാർജ് മോഡ് തിരഞ്ഞെടുക്കൽ

പോളിമർ ആവശ്യകതകൾക്കായി, പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷന് രണ്ട് ഡിസ്ചാർജ് മോഡുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കാം: തുടർച്ചയായ ഡിസ്ചാർജ് അല്ലെങ്കിൽ പൾസ് ഡിസ്ചാർജ്.

(5) ഡിസ്ചാർജ് പാരാമീറ്ററുകളുടെ തിരഞ്ഞെടുപ്പ്

പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ നടത്തുമ്പോൾ, പ്ലാസ്മ പാരാമീറ്ററുകൾ, പോളിമർ ഗുണങ്ങൾ, ഘടന ആവശ്യകതകൾ എന്നിവയിൽ നിന്ന് ഡിസ്ചാർജ് പാരാമീറ്ററുകൾ പരിഗണിക്കേണ്ടതുണ്ട്.വാക്വം ചേമ്പറിന്റെ അളവ്, ഇലക്ട്രോഡ് വലുപ്പം, മോണോമർ ഫ്ലോ റേറ്റ്, ഘടന, പോളിമറൈസേഷൻ നിരക്ക്, പോളിമർ ഘടന, പ്രകടനം എന്നിവ അനുസരിച്ചാണ് പോളിമറൈസേഷൻ സമയത്ത് പ്രയോഗിച്ച ശക്തിയുടെ അളവ് നിർണ്ണയിക്കുന്നത്.ഉദാഹരണത്തിന്, പ്രതികരണ ചേമ്പർ വോളിയം 1L ആണെങ്കിൽ, RF പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ സ്വീകരിക്കുകയാണെങ്കിൽ, ഡിസ്ചാർജ് പവർ 10~30W പരിധിയിലായിരിക്കും.അത്തരം സാഹചര്യങ്ങളിൽ, ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്ന പ്ലാസ്മ വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷൻ ഫിലിമിന്റെ വളർച്ചാ നിരക്ക് വൈദ്യുതി വിതരണം, മോണോമർ തരം, ഫ്ലോ റേറ്റ്, പ്രോസസ്സ് അവസ്ഥകൾ എന്നിവയെ ആശ്രയിച്ച് വ്യത്യാസപ്പെടുന്നു.സാധാരണയായി, വളർച്ചാ നിരക്ക് 100nm/min~1um/min ആണ്.

(6) പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷനിലെ പാരാമീറ്റർ അളവ്

പ്ലാസ്മ പോളിമറൈസേഷനിൽ അളക്കേണ്ട പ്ലാസ്മ പാരാമീറ്ററുകളും പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകളും ഉൾപ്പെടുന്നു: ഡിസ്ചാർജ് വോൾട്ടേജ്, ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ്, ഡിസ്ചാർജ് ഫ്രീക്വൻസി, ഇലക്ട്രോൺ താപനില, സാന്ദ്രത, പ്രതികരണ ഗ്രൂപ്പിന്റെ തരവും ഏകാഗ്രതയും മുതലായവ.

——ഈ ലേഖനം പുറത്തിറക്കിയത് Guangdong Zhenhua Technology, aഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.