പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ പൂശുന്ന പ്രക്രിയ

പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ പൂശുന്ന പ്രക്രിയ ഇപ്രകാരമാണ്:

1, തകർച്ചയിൽ ചിൻ ഇൻഗോട്ടുകൾ ഇടുക.

2, വർക്ക്പീസ് മൌണ്ട് ചെയ്യുന്നു.

3, 5×10-3Pa ലേക്ക് ഒഴിപ്പിച്ച ശേഷം, സിൽവർ ട്യൂബിൽ നിന്ന് കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് ആർഗോൺ വാതകം അവതരിപ്പിക്കുന്നു, വാക്വം ലെവൽ ഏകദേശം 100Pa ആണ്.

4, ബയസ് പവർ ഓണാക്കുക.

5, പൊള്ളയായ കാഥോഡ് ഡിസ്ചാർജ് കത്തിക്കാൻ ആർക്ക് പവർ ഓണാക്കിയ ശേഷം. ബട്ടൺ ട്യൂബിൽ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്യുന്നു, ഡിസ്ചാർജ് വോൾട്ടേജ് 800~1000V ആണ്, ആർക്ക്-റൈസിംഗ് കറന്റ് 30~50A ആണ്. ഗ്ലോയുടെ പൊള്ളയായ കാഥോഡ് പ്രഭാവം കാരണം ഡിസ്ചാർജ്, ഉയർന്ന ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് ഡെൻസിറ്റി, സിൽവർ ട്യൂബിലെ എലി അയോണുകളുടെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത വാന്റേജ് ട്യൂബിന്റെ ഭിത്തിയിൽ ബോംബിടുന്നു, ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന്റെ ഉദ്വമനം വരെ ട്യൂബ് മതിൽ അതിവേഗം ചൂടാക്കുക, ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിൽ നിന്നുള്ള ഡിസ്ചാർജ് മോഡ് പെട്ടെന്ന് മാറുന്നു ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ്, വോൾട്ടേജ് 40~70V ആണ്, കറന്റ് 80~300A ആണ്. സിൽവർ ട്യൂബ് താപനില 2300K-ന് മുകളിൽ എത്തുന്നു, ഇൻകാൻഡസെന്റ്, ട്യൂബിൽ നിന്ന് ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ആർക്ക് ഇലക്ട്രോണുകൾ പുറപ്പെടുവിക്കുകയും ആനോഡിലേക്ക് ഷൂട്ട് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

6, വാക്വം ലെവലിന്റെ ക്രമീകരണം. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് തോക്കിൽ നിന്നുള്ള ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിനുള്ള വാക്വം ലെവൽ ഏകദേശം 100 Pa ആണ്, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിന്റെ വാക്വം ഡിഗ്രി 8×10-1~2Pa ആണ്. അതിനാൽ, ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് കത്തിച്ചതിന് ശേഷം, ഇൻകമിംഗ് ആർഗോൺ കുറയ്ക്കുക കഴിയുന്നത്ര വേഗം വാതകം, പൂശാൻ അനുയോജ്യമായ ഒരു ശ്രേണിയിലേക്ക് വാക്വം ലെവൽ ക്രമീകരിക്കുക.

7, ടൈറ്റാനിയം പൂശിയ അടിസ്ഥാന പാളി. അനോഡിക്കലി തകർന്ന ചിൻ മെറ്റൽ ഇൻഗോട്ടിലേക്ക് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം, ഗതികോർജ്ജത്തെ താപ ഊർജ്ജമാക്കി മാറ്റൽ, ചൂടാക്കി ചിൻ ലോഹത്തിന്റെ ബാഷ്പീകരണം, ഒരു ടൈറ്റാനിയം ഫിലിം രൂപപ്പെടാൻ നീരാവി ആറ്റങ്ങൾ വർക്ക്പീസിലെത്തുന്നു.

8, TiN നിക്ഷേപം. നൈട്രജൻ വാതകം കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് വിതരണം ചെയ്യുന്നു, നൈട്രജൻ വാതകവും ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളും നൈട്രജൻ, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളായി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു. ലോഹ വിഘടന നിരക്ക് 20%~40% വരെ ഉയർന്നതാണ്., ടൈറ്റാനിയം അയോണുകൾ രാസപ്രവർത്തന വാതക നൈട്രജൻ, നൈട്രൈഡ് മാന്റിൽ ഫിലിം പാളി ലഭിക്കുന്നതിനുള്ള നിക്ഷേപം എന്നിവയുമായി രാസപരമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ സാധ്യതയുണ്ട്. അയോണൈസേഷൻ. പൂശുന്ന സമയത്ത്, ക്രൂസിബിളിന് ചുറ്റുമുള്ള വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലിന്റെ വൈദ്യുതധാരയും ക്രമീകരിക്കണം, തകർച്ചയുടെ മധ്യഭാഗത്തേക്ക് ഇലക്ട്രോൺ ബീമിനെ ഫോക്കസ് ചെയ്യുക, അങ്ങനെ, ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന്റെ ശക്തി സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നു.

9, പവർ ഓഫ്. ഫിലിം കനം മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച ഫിലിം കനത്തിൽ എത്തിയ ശേഷം, ആർക്ക് പവർ സപ്ലൈ ഓഫ് ചെയ്യുക, ബയാസ് പവർ സപ്ലൈയും എയർ സപ്ലൈയും.