സ്മോൾ ആർക്ക് സോഴ്സ് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രക്രിയ

കാഥോഡിക് ആർക്ക് സോഴ്‌സ് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രക്രിയ അടിസ്ഥാനപരമായി മറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾക്ക് സമാനമാണ്, കൂടാതെ വർക്ക്പീസുകൾ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യൽ, വാക്വമിംഗ് എന്നിവ പോലുള്ള ചില പ്രവർത്തനങ്ങൾ ഇനി ആവർത്തിക്കില്ല.

1. വർക്ക്പീസുകളുടെ ബോംബാർഡ് വൃത്തിയാക്കൽ

പൂശുന്നതിനു മുമ്പ്, ആർഗോൺ വാതകം 2 × 10-2Pa വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ അവതരിപ്പിക്കുന്നു.

20% ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിളും 800-1000V വർക്ക്പീസ് ബയസും ഉപയോഗിച്ച് പൾസ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈ ഓണാക്കുക.

ആർക്ക് പവർ ഓണായിരിക്കുമ്പോൾ, ഒരു കോൾഡ് ഫീൽഡ് ആർക്ക് ലൈറ്റ് ഡിസ്ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്യുന്നു, ഇത് ആർക്ക് ഉറവിടത്തിൽ നിന്ന് വലിയ അളവിൽ ഇലക്ട്രോൺ കറന്റും ടൈറ്റാനിയം അയോൺ കറന്റും പുറപ്പെടുവിക്കുകയും ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.ടൈറ്റാനിയം അയോൺ വർക്ക്പീസിൽ പ്രയോഗിച്ച നെഗറ്റീവ് ഉയർന്ന ബയസ് മർദ്ദത്തിൽ വർക്ക്പീസിലേക്ക് അതിന്റെ കുത്തിവയ്പ്പ് ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു, വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന അവശിഷ്ട വാതകങ്ങളെയും മലിനീകരണങ്ങളെയും ബോംബെറിയുകയും പൊടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ വർക്ക്പീസിന്റെ ഉപരിതലം വൃത്തിയാക്കുകയും ശുദ്ധീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു;അതേ സമയം, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലെ ക്ലോറിൻ വാതകം ഇലക്ട്രോണുകളാൽ അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ആർഗോൺ അയോണുകൾ വർക്ക്പീസ് ഉപരിതലത്തിന്റെ ബോംബിംഗ് ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു.

അതിനാൽ, ബോംബിംഗ് ക്ലീനിംഗ് പ്രഭാവം നല്ലതാണ്.ഏകദേശം 1 മിനിറ്റ് ബോംബിംഗ് ക്ലീനിംഗ് മാത്രമേ വർക്ക്പീസ് വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയൂ, അതിനെ "മെയിൻ ആർക്ക് ബോംബർമെന്റ്" എന്ന് വിളിക്കുന്നു.ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളുടെ ഉയർന്ന പിണ്ഡം കാരണം, വർക്ക്പീസ് ബോംബെറിഞ്ഞ് വൃത്തിയാക്കാൻ ഒരു ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, വർക്ക്പീസിന്റെ താപനില അമിതമായി ചൂടാകാൻ സാധ്യതയുണ്ട്, കൂടാതെ ടൂൾ എഡ്ജ് മൃദുവായേക്കാം.പൊതുവായ ഉൽപ്പാദനത്തിൽ, ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ മുകളിൽ നിന്ന് താഴേക്ക് ഓരോന്നായി ഓണാക്കുന്നു, കൂടാതെ ഓരോ ചെറിയ ആർക്ക് ഉറവിടത്തിനും ഏകദേശം 1 മിനിറ്റ് ബോംബിംഗ് ക്ലീനിംഗ് സമയമുണ്ട്.

(1) കോട്ടിംഗ് ടൈറ്റാനിയം താഴത്തെ പാളി

ഫിലിമും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റും തമ്മിലുള്ള അഡീഷൻ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് പൂശുന്നതിന് മുമ്പ് ശുദ്ധമായ ടൈറ്റാനിയം അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഒരു പാളി സാധാരണയായി പൂശുന്നു.വാക്വം ലെവൽ 5×10-2-3×10-1Pa ആയി ക്രമീകരിക്കുക, വർക്ക്പീസ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് 400-500V ആയി ക്രമീകരിക്കുക, പൾസ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിൾ 40%~50% ആയി ക്രമീകരിക്കുക.കോൾഡ് ഫീൽഡ് ആർക്കിംഗ് ഡിസ്ചാർജ് ജനറേറ്റുചെയ്യാൻ ഇപ്പോഴും ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകൾ ഓരോന്നായി കത്തിക്കുന്നു.വർക്ക്പീസിന്റെ നെഗറ്റീവ് ബയസ് വോൾട്ടേജിലെ കുറവ് കാരണം, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളുടെ ഊർജ്ജം കുറയുന്നു.വർക്ക്പീസിൽ എത്തിയതിനുശേഷം, സ്‌പട്ടറിംഗ് ഇഫക്റ്റ് ഡിപ്പോസിഷൻ ഇഫക്റ്റിനേക്കാൾ കുറവാണ്, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഹാർഡ് ഫിലിം ലെയറും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റും തമ്മിലുള്ള ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്‌സ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് വർക്ക്പീസിൽ ഒരു ടൈറ്റാനിയം ട്രാൻസിഷൻ ലെയർ രൂപപ്പെടുന്നു.ഈ പ്രക്രിയ വർക്ക്പീസ് ചൂടാക്കാനുള്ള പ്രക്രിയ കൂടിയാണ്.ശുദ്ധമായ ടൈറ്റാനിയം ടാർഗെറ്റ് ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്യുമ്പോൾ, പ്ലാസ്മയിലെ പ്രകാശം ആകാശനീലയാണ്.

1.അമോണിയേറ്റഡ് ബൗൾ ഹാർഡ് ഫിലിം കോട്ടിംഗ്

വാക്വം ഡിഗ്രി 3×10 ആയി ക്രമീകരിക്കുക^-1-5Pa, വർക്ക്പീസ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് 100-200V ആയി ക്രമീകരിക്കുക, പൾസ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ ഡ്യൂട്ടി സൈക്കിൾ 70%~80% ആയി ക്രമീകരിക്കുക.നൈട്രജൻ അവതരിപ്പിച്ചതിന് ശേഷം, ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഹാർഡ് ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്നതിനുള്ള ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് പ്ലാസ്മയുമായി സംയോജിത പ്രതിപ്രവർത്തനമാണ്.ഈ സമയത്ത്, വാക്വം ചേമ്പറിലെ പ്ലാസ്മയുടെ പ്രകാശം ചെറി ചുവപ്പാണ്.എങ്കിൽ സി₂H₂, ഒ₂, തുടങ്ങിയവ അവതരിപ്പിച്ചു, TiCN, TiO₂, മുതലായവ ഫിലിം പാളികൾ ലഭിക്കും.

-ഈ ലേഖനം ഗ്വാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻ‌ഹുവ പുറത്തിറക്കി, എവാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്