ഫാസ്റ്റ് ഡിപ്പോസിഷൻ റേറ്റ്, ഉയർന്ന ഫിലിം ക്വാളിറ്റി എന്നിവയുടെ സ്വഭാവസവിശേഷതകളുള്ള ഓക്സൈഡ് ഫിലിം തയ്യാറാക്കാൻ ഉപകരണങ്ങൾ പ്രധാനമായും കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപം സ്വീകരിക്കുന്നു.ഉപകരണ ഘടനയെ സംബന്ധിച്ചിടത്തോളം, ക്ലാമ്പിംഗ് കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഇരട്ട വാതിൽ ഘടന ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ സ്ഥിരവും നിയന്ത്രിക്കാവുന്നതുമായ ഒഴുക്ക് ഉറപ്പാക്കാനും പ്രോസസ്സ് സ്ഥിരത ഫലപ്രദമായി ഉറപ്പാക്കാനും ഏറ്റവും പുതിയ ദ്രാവക വാതക വിതരണ സംവിധാനം സ്വീകരിച്ചു.ഉപകരണങ്ങൾ തയ്യാറാക്കിയ ഫിലിമിന് നല്ല നീരാവി തടസ്സവും തിളപ്പിക്കൽ പരിശോധനയിൽ കൂടുതൽ സ്ഥിരതയുള്ള കാലയളവും ഉണ്ട്.
സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ, ഇലക്ട്രോപ്ലേറ്റഡ് ഹാർഡ്വെയർ/പ്ലാസ്റ്റിക് ഭാഗങ്ങൾ, ഗ്ലാസ്, സെറാമിക്സ്, ഇലക്ട്രോണിക് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ, എൽഇഡി ലൈറ്റ് ബീഡുകൾ, മെഡിക്കൽ സപ്ലൈസ്, ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം ആവശ്യമുള്ള മറ്റ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ എന്നിവയിൽ ഉപകരണങ്ങൾ പ്രയോഗിക്കാവുന്നതാണ്.SiOx ബാരിയർ ഫിലിം പ്രധാനമായും ജലബാഷ്പത്തെ ഫലപ്രദമായി തടയുന്നതിനും നാശവും ഓക്സിഡേഷനും തടയുന്നതിനും ഉൽപ്പന്ന ആയുസ്സ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുമാണ് തയ്യാറാക്കിയിരിക്കുന്നത്.
ഓപ്ഷണൽ മോഡലുകൾ | അകത്തെ അറയുടെ വലിപ്പം |
ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |