ഈ ഉപകരണങ്ങളുടെ ശ്രേണി മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിച്ച് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളെ നാനോമീറ്റർ വലിപ്പമുള്ള കണങ്ങളാക്കി മാറ്റുന്നു, അവ അടിവസ്ത്രങ്ങളുടെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും നേർത്ത ഫിലിമുകൾ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.ഉരുട്ടിയ ഫിലിം വാക്വം ചേമ്പറിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു.വൈദ്യുതമായി പ്രവർത്തിക്കുന്ന വിൻഡിംഗ് ഘടനയിലൂടെ, ഒരു അറ്റം ഫിലിം സ്വീകരിക്കുന്നു, മറ്റൊന്ന് ഫിലിം ഇടുന്നു.ഇത് ലക്ഷ്യസ്ഥാനത്തിലൂടെ കടന്നുപോകുന്നത് തുടരുകയും ടാർഗെറ്റ് കണങ്ങളെ സ്വീകരിക്കുകയും സാന്ദ്രമായ ഒരു ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
സ്വഭാവം:
1. കുറഞ്ഞ താപനില ഫിലിം രൂപീകരണം.താപനില ഫിലിമിൽ കാര്യമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നില്ല, മാത്രമല്ല രൂപഭേദം ഉണ്ടാക്കുകയുമില്ല.PET, PI, മറ്റ് അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ കോയിൽ ഫിലിമുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് ഇത് അനുയോജ്യമാണ്.
2. ഫിലിം കനം രൂപകൽപ്പന ചെയ്യാൻ കഴിയും.കനം കുറഞ്ഞതോ കട്ടിയുള്ളതോ ആയ കോട്ടിംഗുകൾ പ്രോസസ് അഡ്ജസ്റ്റ്മെന്റ് വഴി രൂപകല്പന ചെയ്യുകയും നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യാം.
3. ഒന്നിലധികം ടാർഗെറ്റ് ലൊക്കേഷൻ ഡിസൈൻ, വഴക്കമുള്ള പ്രക്രിയ.മുഴുവൻ മെഷീനും എട്ട് ടാർഗെറ്റുകൾ കൊണ്ട് സജ്ജീകരിക്കാം, അവ ലളിതമായ ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളായോ സംയുക്ത, ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങളായോ ഉപയോഗിക്കാം.സിംഗിൾ സ്ട്രക്ച്ചറുള്ള സിംഗിൾ-ലെയർ ഫിലിമുകളോ സംയോജിത ഘടനയുള്ള മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിമുകളോ തയ്യാറാക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കാം.പ്രക്രിയ വളരെ വഴക്കമുള്ളതാണ്.
ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വൈദ്യുതകാന്തിക ഷീൽഡിംഗ് ഫിലിം, ഫ്ലെക്സിബിൾ സർക്യൂട്ട് ബോർഡ് കോട്ടിംഗ്, വിവിധ ഡൈഇലക്ട്രിക് ഫിലിമുകൾ, മൾട്ടി-ലെയർ എആർ ആന്റി റിഫ്ലെക്ഷൻ ഫിലിം, എച്ച്ആർ ഹൈ ആന്റി റിഫ്ലെക്ഷൻ ഫിലിം, കളർ ഫിലിം മുതലായവ തയ്യാറാക്കാൻ കഴിയും. ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകളും സിംഗിൾ-ലെയർ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷനുമുണ്ട് ഒറ്റത്തവണ ഫിലിം ഡെപ്പോസിഷൻ വഴി പൂർത്തിയാക്കാൻ കഴിയും.
ഉപകരണങ്ങൾക്ക് Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl മുതലായവ പോലുള്ള ലളിതമായ ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളോ SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO മുതലായ സംയുക്ത ലക്ഷ്യങ്ങളോ സ്വീകരിക്കാൻ കഴിയും.
ഉപകരണങ്ങൾ വലുപ്പത്തിൽ ചെറുതാണ്, ഘടനാ രൂപകൽപ്പനയിൽ ഒതുക്കമുള്ളതാണ്, തറ വിസ്തീർണ്ണത്തിൽ ചെറുതാണ്, കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജ ഉപഭോഗം, ക്രമീകരണത്തിൽ വഴക്കമുള്ളതാണ്.പ്രക്രിയ ഗവേഷണത്തിനും വികസനത്തിനും അല്ലെങ്കിൽ ചെറിയ ബാച്ച് ബഹുജന ഉൽപാദനത്തിനും ഇത് വളരെ അനുയോജ്യമാണ്.