അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി

വാസ്തവത്തിൽ, അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നോളജി ഒരു സംയുക്ത സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്.അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനും ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ ഫിലിം ടെക്നോളജിയും സംയോജിപ്പിക്കുന്ന ഒരു കോമ്പോസിറ്റ് ഉപരിതല അയോൺ ട്രീറ്റ്മെന്റ് ടെക്നിക്കാണിത്, കൂടാതെ ഒരു പുതിയ തരം അയോൺ ബീം ഉപരിതല ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ ടെക്നിക്.ഫിസിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപത്തിന്റെ ഗുണങ്ങൾക്ക് പുറമേ, ഈ സാങ്കേതികതയ്ക്ക് കൂടുതൽ കർശനമായ നിയന്ത്രണ സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഏത് കട്ടിയുള്ള ഫിലിമും തുടർച്ചയായി വളർത്താനും ഫിലിം പാളിയുടെ ക്രിസ്റ്റലിനിറ്റിയും ഓറിയന്റേഷനും കൂടുതൽ ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്താനും ഫിലിം ലെയറിന്റെ/സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിന്റെ അഡീഷൻ ശക്തി വർദ്ധിപ്പിക്കാനും സാന്ദ്രത മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും. ഫിലിം പാളിയുടെ, ഒപ്പം റൂം താപനിലയിലും മർദ്ദത്തിലും ലഭിക്കാത്ത പുതിയ തരം ഫിലിമുകൾ ഉൾപ്പെടെ, അടുത്തുള്ള ഊഷ്മാവിൽ അനുയോജ്യമായ സ്റ്റോയ്ചിയോമെട്രിക് അനുപാതങ്ങളുള്ള സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ സമന്വയിപ്പിക്കുക.അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ പ്രക്രിയയുടെ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്തുക മാത്രമല്ല, അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു ഫിലിം ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തെ മറയ്ക്കാനും കഴിയും.
എല്ലാത്തരം ഭൌതിക നീരാവി നിക്ഷേപത്തിലും കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപത്തിലും, ഒരു IBAD സിസ്റ്റം രൂപീകരിക്കുന്നതിന് ഒരു കൂട്ടം സഹായ ബോംബർമെന്റ് അയോൺ തോക്കുകൾ ചേർക്കാം, കൂടാതെ ചിത്രത്തിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ ഇനിപ്പറയുന്ന രണ്ട് പൊതു IBAD പ്രക്രിയകൾ ഉണ്ട്:

Pic (a) ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ, അയോൺ തോക്കിൽ നിന്ന് പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന അയോൺ ബീം ഉപയോഗിച്ച് ഫിലിം പാളി വികിരണം ചെയ്യാൻ ഒരു ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണ ഉറവിടം ഉപയോഗിക്കുന്നു, അങ്ങനെ അയോൺ ബീം അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ സാക്ഷാത്കരിക്കുന്നു.അയോൺ ബീം ഊർജ്ജവും ദിശയും ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും, എന്നാൽ ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സായി ഒരൊറ്റ അല്ലെങ്കിൽ പരിമിതമായ അലോയ് അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തം മാത്രമേ ഉപയോഗിക്കാനാകൂ, അലോയ് ഘടകത്തിന്റെയും സംയുക്തത്തിന്റെയും ഓരോ നീരാവി മർദ്ദവും വ്യത്യസ്തമാണ്, ഇത് ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു. യഥാർത്ഥ ബാഷ്പീകരണ ഉറവിട ഘടനയുടെ ഫിലിം പാളി ലഭിക്കുന്നതിന്.
Pic (b) അയോൺ ബീം സ്‌പട്ടറിംഗ്-അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ കാണിക്കുന്നു, ഇത് ഇരട്ട അയോൺ ബീം സ്‌പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു, അതിൽ അയോൺ ബീം സ്‌പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ടാർഗെറ്റ്, സ്‌പട്ടറിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ഉറവിടമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, മറ്റൊരു അയോൺ സ്രോതസ്സുമൊത്തുള്ള വികിരണം വഴി അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ് അസിസ്റ്റഡ് ഡിപ്പോസിഷൻ നേടുന്നു.ഈ രീതിയുടെ പ്രയോജനം, ചിതറിക്കിടക്കുന്ന കണികകൾക്ക് ഒരു നിശ്ചിത ഊർജ്ജം ഉണ്ട്, അതിനാൽ അടിവസ്ത്രവുമായി മെച്ചപ്പെട്ട അഡീഷൻ ഉണ്ട്;ടാർഗെറ്റിന്റെ ഏത് ഘടകവും സ്‌പട്ടർ കോട്ടിംഗ് ആകാം, മാത്രമല്ല ഫിലിമിലേക്ക് റിയാക്ഷൻ സ്‌പട്ടറിംഗ് ആകാം, ഫിലിമിന്റെ കോമ്പോസിഷൻ ക്രമീകരിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, പക്ഷേ അതിന്റെ ഡിപ്പോസിഷൻ കാര്യക്ഷമത കുറവാണ്, ലക്ഷ്യം ചെലവേറിയതാണ്, കൂടാതെ സെലക്ടീവ് സ്‌പട്ടറിംഗ് പോലുള്ള പ്രശ്‌നങ്ങളുണ്ട്.