മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗും കാഥോഡിക് മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് കോമ്പോസിറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യയും

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെയും കാഥോഡിക് മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെയും കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ വെവ്വേറെയും ഒരേസമയം പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും;ശുദ്ധമായ മെറ്റൽ ഫിലിം, മെറ്റൽ കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിം അല്ലെങ്കിൽ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിം എന്നിവ നിക്ഷേപിക്കുകയും തയ്യാറാക്കുകയും ചെയ്യാം;ഫിലിമിന്റെ ഒരു പാളിയും ഒരു മൾട്ടി-ലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമും ആകാം.

അതിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:
ഇത് വിവിധ അയോൺ കോട്ടിംഗുകളുടെ ഗുണങ്ങൾ സംയോജിപ്പിക്കുകയും വിവിധ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി നേർത്ത ഫിലിം തയ്യാറാക്കുകയും നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുക മാത്രമല്ല, ഒരേ ശൂന്യതയിൽ മൾട്ടി-ലെയർ മോണോലിത്തിക്ക് ഫിലിമുകൾ അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി-ലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും അനുവദിക്കുന്നു. ഒരു സമയത്ത് കോട്ടിംഗ് ചേമ്പർ.
നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിം ലെയറുകളുടെ പ്രയോഗങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, അതിന്റെ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വിവിധ രൂപങ്ങളിലാണ്, സാധാരണമായവ ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:
(1) നോൺ-ഇക്വിലിബ്രിയം മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെയും കാഥോഡിക് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും സംയുക്തം.
അതിന്റെ ഉപകരണം ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു.ടൂൾ കോട്ടിംഗ് കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിം, ഡെക്കറേറ്റീവ് ഫിലിം കോട്ടിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമായ കോളം മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റിന്റെയും പ്ലാനർ കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെയും സംയുക്ത കോട്ടിംഗ് ഉപകരണമാണിത്.ടൂൾ കോട്ടിംഗിനായി, ബേസ് ലെയർ കോട്ടിംഗിനായി ആദ്യം കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, തുടർന്ന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് ടൂൾ ഉപരിതല ഫിലിം ലഭിക്കുന്നതിന് നൈട്രൈഡിന്റെയും മറ്റ് ഫിലിം ലെയറുകളുടെയും നിക്ഷേപത്തിനായി കോളം മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.
അലങ്കാര കോട്ടിംഗിനായി, TiN, ZrN അലങ്കാര ഫിലിമുകൾ ആദ്യം കാഥോഡിക് ആർക്ക് കോട്ടിംഗ് ഉപയോഗിച്ച് നിക്ഷേപിക്കാം, തുടർന്ന് മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ലോഹം ഉപയോഗിച്ച് ഡോപ്പുചെയ്യാം, കൂടാതെ ഡോപ്പിംഗ് ഇഫക്റ്റ് വളരെ നല്ലതാണ്.

(2) ഇരട്ട പ്ലെയിൻ മാഗ്നെട്രോണിന്റെയും കോളം കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് ടെക്നിക്കുകളുടെയും സംയുക്തം.ഉപകരണം ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു.നൂതന ഇരട്ട ടാർഗെറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ് ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നത്, ഇടത്തരം ഫ്രീക്വൻസി പവർ സപ്ലൈയുമായി രണ്ട് വശങ്ങളിലായി ഇരട്ട ടാർഗെറ്റുകൾ ബന്ധിപ്പിക്കുമ്പോൾ, ഇത് ഡിസി സ്പട്ടറിംഗ്, തീ, മറ്റ് പോരായ്മകൾ എന്നിവയുടെ ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധയെ മറികടക്കുക മാത്രമല്ല;കൂടാതെ Al203, SiO2 ഓക്സൈഡ് ഗുണനിലവാരമുള്ള ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ പൂശിയ ഭാഗങ്ങളുടെ ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം വർദ്ധിക്കുകയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.വാക്വം ചേമ്പറിന്റെ മധ്യഭാഗത്ത് സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന നിര മൾട്ടി-ആർക്ക് ടാർഗെറ്റ്, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ Ti, Zr എന്നിവ ഉപയോഗിക്കാം, ഉയർന്ന മൾട്ടി-ആർക്ക് ഡിസോസിയേഷൻ നിരക്ക്, ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്താൻ മാത്രമല്ല, "ഡ്രോപ്ലെറ്റുകൾ" ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും. ചെറിയ തലം മൾട്ടി-ആർക്ക് ടാർഗെറ്റ് ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയ, ലോഹ ഫിലിമുകൾ, കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിമുകൾ എന്നിവയുടെ കുറഞ്ഞ സുഷിരത നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും കഴിയും.ചുറ്റളവിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന ഇരട്ട പ്ലാനർ മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകളുടെ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലായി Al, Si എന്നിവ ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, Al203 അല്ലെങ്കിൽ Si0 മെറ്റൽ-സെറാമിക് ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിച്ച് തയ്യാറാക്കാം.കൂടാതെ, മൾട്ടി-ആർക്ക് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെ ഒന്നിലധികം ചെറിയ വിമാനങ്ങൾ ചുറ്റളവിൽ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യാൻ കഴിയും, കൂടാതെ അതിന്റെ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ Cr അല്ലെങ്കിൽ Ni ആകാം, കൂടാതെ മെറ്റൽ ഫിലിമുകളും മൾട്ടി ലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമുകളും നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും കഴിയും.അതിനാൽ, ഈ കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഒന്നിലധികം ആപ്ലിക്കേഷനുകളുള്ള ഒരു സംയോജിത കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്.