സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ

1, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന്റെ സവിശേഷതകൾ
പരമ്പരാഗത വാക്വം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:
(1) ഏത് പദാർത്ഥവും, പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം, കുറഞ്ഞ നീരാവി മർദ്ദം മൂലകങ്ങൾ, സംയുക്തങ്ങൾ എന്നിവ പൊടിക്കാൻ കഴിയും.ഒരു ഖരപദാർഥമായിരിക്കുന്നിടത്തോളം, അത് ഒരു ലോഹമായാലും, അർദ്ധചാലകമായാലും, ഇൻസുലേറ്ററായാലും, സംയുക്തം, മിശ്രിതം മുതലായവയായാലും, അത് ഒരു ബ്ലോക്കായാലും, ഗ്രാനുലാർ മെറ്റീരിയൽ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലായി ഉപയോഗിക്കാം.ഇൻസുലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളും ഓക്സൈഡുകൾ പോലുള്ള അലോയ്കളും പൊടിക്കുമ്പോൾ ചെറിയ വിഘടനവും ഭിന്നതയും സംഭവിക്കുന്നതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന് സമാനമായ യൂണിഫോം ഘടകങ്ങളുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകളും അലോയ് ഫിലിമുകളും തയ്യാറാക്കാനും സങ്കീർണ്ണമായ കോമ്പോസിഷനുകളുള്ള സൂപ്പർകണ്ടക്റ്റിംഗ് ഫിലിമുകളും തയ്യാറാക്കാനും അവ ഉപയോഗിക്കാം. ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, സിലിസൈഡുകൾ തുടങ്ങിയ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ സംയുക്തങ്ങളുടെ ഫിലിമുകൾ നിർമ്മിക്കാനും റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് രീതി ഉപയോഗിക്കാം.
(2) സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിനും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ഇടയിൽ നല്ല ഒട്ടിപ്പിടിക്കൽ.സ്‌പട്ടർ ചെയ്‌ത ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളേക്കാൾ 1-2 ഓർഡറുകൾ കൂടുതലായതിനാൽ, അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജ കണങ്ങളുടെ ഊർജ്ജ പരിവർത്തനം ഉയർന്ന താപ ഊർജ്ജം ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് സ്പട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.ഉയർന്ന ഊർജ്ജം പകരുന്ന ആറ്റങ്ങളുടെ ഒരു ഭാഗം വ്യത്യസ്ത അളവുകളിലേക്ക് കുത്തിവയ്ക്കുകയും, അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു വ്യാജ-ഡിഫ്യൂഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു, അവിടെ അടിവസ്ത്ര പദാർത്ഥത്തിന്റെ ആറ്റങ്ങളും പരസ്പരം "മിശ്രണം" ചെയ്യുന്നു.കൂടാതെ, സ്‌പട്ടറിംഗ് കണങ്ങളുടെ ബോംബിംഗ് സമയത്ത്, അടിവസ്ത്രം എല്ലായ്പ്പോഴും പ്ലാസ്മ സോണിൽ വൃത്തിയാക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് മോശമായി പറ്റിനിൽക്കുന്ന അവശിഷ്ട ആറ്റങ്ങളെ നീക്കം ചെയ്യുകയും അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തെ ശുദ്ധീകരിക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.തൽഫലമായി, അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് സ്പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിം പാളിയുടെ അഡീഷൻ വളരെയധികം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
(3) സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന്റെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത, കുറവ് പിൻഹോളുകൾ, ഫിലിം പാളിയുടെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, കാരണം ക്രൂസിബിൾ മലിനീകരണം ഇല്ല, ഇത് സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ വാക്വം നീരാവി നിക്ഷേപത്തിൽ ഒഴിവാക്കാനാവാത്തതാണ്.
(4) ഫിലിം കനം നല്ല നിയന്ത്രണവും ആവർത്തനക്ഷമതയും.സ്‌പട്ടർ കോട്ടിംഗ് സമയത്ത് ഡിസ്ചാർജ് കറന്റും ടാർഗെറ്റ് കറന്റും വെവ്വേറെ നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയുമെന്നതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് കറന്റ് നിയന്ത്രിച്ചുകൊണ്ട് ഫിലിം കനം നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ, ഫിലിം കനം നിയന്ത്രിക്കാനും സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് ഒന്നിലധികം സ്‌പട്ടറിംഗ് വഴി ഫിലിം കനത്തിന്റെ പുനരുൽപാദനക്ഷമതയും നല്ലതാണ്. , കൂടാതെ മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ചിട്ടുള്ള കട്ടിയുള്ള ഫിലിം ഫലപ്രദമായി പൂശാൻ കഴിയും.കൂടാതെ, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന് ഒരു വലിയ പ്രദേശത്ത് ഒരു ഏകീകൃത ഫിലിം കനം ലഭിക്കും.എന്നിരുന്നാലും, പൊതുവായ സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് (പ്രധാനമായും ദ്വിധ്രുവ സ്പട്ടറിംഗ്), ഉപകരണങ്ങൾ സങ്കീർണ്ണവും ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള ഉപകരണം ആവശ്യമാണ്;സ്പട്ടർ നിക്ഷേപത്തിന്റെ ഫിലിം രൂപീകരണ വേഗത കുറവാണ്, വാക്വം ബാഷ്പീകരണ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് 0.1~5nm/min ആണ്, അതേസമയം സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക് 0.01~0.5nm/min ആണ്;അടിവസ്ത്ര താപനിലയിലെ വർദ്ധനവ് ഉയർന്നതും അശുദ്ധമായ വാതകത്തിന് ഇരയാകാവുന്നതുമാണ്. എന്നിരുന്നാലും, RF സ്പട്ടറിംഗിന്റെയും മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും വികസനം കാരണം, വേഗത്തിലുള്ള സ്പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ നേടുന്നതിലും അടിവസ്ത്ര താപനില കുറയ്ക്കുന്നതിലും വലിയ പുരോഗതി നേടിയിട്ടുണ്ട്.മാത്രമല്ല, സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, പുതിയ സ്‌പട്ടർ കോട്ടിംഗ് രീതികൾ അന്വേഷിക്കുന്നുണ്ട് - പ്ലാനർ മാഗ്‌നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കി - സീറോ-പ്രഷർ സ്‌പട്ടറിംഗ് വരെ സ്‌പട്ടറിംഗ് വായു മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിന്, അവിടെ സ്‌പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് കഴിക്കുന്ന വാതകത്തിന്റെ മർദ്ദം പൂജ്യമായിരിക്കും.