സാധാരണയായി CVD പ്രതികരണങ്ങൾ ഉയർന്ന താപനിലയെ ആശ്രയിക്കുന്നു, അതിനാൽ തെർമലി എക്സൈറ്റഡ് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (TCVD) എന്ന് വിളിക്കുന്നു.ഇത് സാധാരണയായി അജൈവ മുൻഗാമികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് ചൂടുള്ള മതിലിലും തണുത്ത മതിലിലും റിയാക്ടറുകളിലാണ് നടത്തുന്നത്.റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി (ആർഎഫ്) ചൂടാക്കൽ, ഇൻഫ്രാറെഡ് വികിരണം ചൂടാക്കൽ, പ്രതിരോധം ചൂടാക്കൽ തുടങ്ങിയവ ഇതിന്റെ ചൂടായ രീതികളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു.
ചൂടുള്ള മതിൽ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം
യഥാർത്ഥത്തിൽ, ഹോട്ട്-വാൾ കെമിക്കൽ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ റിയാക്ടർ ഒരു തെർമോസ്റ്റാറ്റിക് ചൂളയാണ്, ഇത് ഇടയ്ക്കിടെയുള്ള ഉൽപാദനത്തിനായി സാധാരണയായി പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള മൂലകങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ചൂടാക്കുന്നു.ചിപ്പ് ടൂൾ കോട്ടിംഗിനായി ഒരു ഹോട്ട്-വാൾ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപ നിർമ്മാണ സൗകര്യത്തിന്റെ ഡ്രോയിംഗ് ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു.ഈ ഹോട്ട്-വാൾ കെമിക്കൽ നീരാവി നിക്ഷേപത്തിന് TiN, TiC, TiCN എന്നിവയും മറ്റ് നേർത്ത ഫിലിമുകളും പൂശാൻ കഴിയും.റിയാക്‌റ്റർ വേണ്ടത്ര വലുതായി രൂപകൽപന ചെയ്‌തതിനുശേഷം ധാരാളം ഘടകങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളാൻ കഴിയും, കൂടാതെ നിക്ഷേപത്തിനായി വ്യവസ്ഥകൾ വളരെ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാനും കഴിയും.അർദ്ധചാലക ഉപകരണ ഉൽപ്പാദനത്തിന്റെ സിലിക്കൺ ഡോപ്പിംഗിനുള്ള ഒരു എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ലെയർ ഉപകരണം ചിത്രം 1 കാണിക്കുന്നു.ചൂളയിലെ അടിവസ്ത്രം ഒരു ലംബമായ ദിശയിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു, ഇത് കണികകളാൽ ഡിപ്പോസിഷൻ ഉപരിതലത്തിന്റെ മലിനീകരണം കുറയ്ക്കുകയും ഉൽപാദന ലോഡിംഗ് വളരെയധികം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.അർദ്ധചാലക ഉൽപാദനത്തിനായുള്ള ഹോട്ട്-വാൾ റിയാക്ടറുകൾ സാധാരണയായി താഴ്ന്ന മർദ്ദത്തിലാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്.
പോസ്റ്റ് സമയം: നവംബർ-08-2022