വാക്വം പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ സംയോജിത ഘടന സ്വീകരിക്കുന്നു, RF അയോൺ ക്ലീനിംഗ് സിസ്റ്റം, പൂർണ്ണ ഓട്ടോമാറ്റിക് നിയന്ത്രണം, സൗകര്യപ്രദമായ പ്രവർത്തനം, പരിപാലനം എന്നിവ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു.
RF ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി ജനറേറ്ററിന് ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കാനും വർക്ക്പീസ് ഉപരിതലം സജീവമാക്കാനും കൊത്തുപണി ചെയ്യാനും ചാരം ചെയ്യാനും ഉൽപ്പന്ന ഉപരിതലത്തിലെ പൊടിയും ഗ്രീസും ഫലപ്രദമായി നീക്കംചെയ്യാനും ഉപരിതല സമ്മർദ്ദം ഒഴിവാക്കാനും വർക്ക്പീസ് ഉപരിതലത്തിൽ വിവിധ മാറ്റങ്ങൾ നേടാനും കഴിയും.
റബ്ബർ, ഗ്ലാസ്, സെറാമിക്, ലോഹം, മറ്റ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് ഇത് ബാധകമാണ്, കൂടാതെ മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ്, എൽസിഡി, എൽഇഡി, എൽസിഎം, പിസിബി സർക്യൂട്ട് ബോർഡ്, അർദ്ധചാലക പാക്കേജിംഗ്, മെഡിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, ലൈഫ് സയൻസ് പരീക്ഷണങ്ങൾ, മറ്റ് മേഖലകൾ എന്നിവയിലും ഇത് ബാധകമാണ്.