Тоног төхөөрөмж нь магнетрон цацах, ион бүрэх технологийг нэгтгэсэн бөгөөд өнгөт тууштай байдал, тунадасжилтын хурд, нийлмэл найрлагын тогтвортой байдлыг сайжруулах шийдлийг өгдөг.Бүтээгдэхүүний өөр өөр шаардлагын дагуу халаалтын систем, хэвийсэн систем, ионжуулалтын систем болон бусад төхөөрөмжийг сонгож болно.Тоног төхөөрөмжийн бэлтгэсэн бүрхүүл нь бат бөх наалддаг, нягт нягтаршил сайтай давуу талтай тул давс цацах, элэгдэлд тэсвэртэй, гадаргуугийн хатуулгийг үр дүнтэй сайжруулж, өндөр үзүүлэлттэй бүрэх бэлтгэлийн шаардлагыг хангадаг.
Туршилтын бүрэх төхөөрөмжийг ихэвчлэн их дээд сургууль, шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудад ашигладаг бөгөөд туршилтын олон төрлийн шаардлагыг хангаж чаддаг.Төрөл бүрийн салбарын шинжлэх ухааны судалгаа, боловсруулалтыг хангахын тулд уян хатан тохируулж болох тоног төхөөрөмжид янз бүрийн бүтцийн зорилтууд хадгалагдсан байдаг.Магнетрон цацах систем, катод нумын систем, электрон цацрагийн ууршилтын систем, эсэргүүцлийн ууршилтын систем, ЗСБ, PECVD, ионы эх үүсвэр, хэвийсэн систем, халаалтын систем, гурван хэмжээст бэхэлгээ гэх мэтийг сонгож болно.Үйлчлүүлэгчид өөр өөр хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн сонгох боломжтой.
Тоног төхөөрөмж нь үзэмж сайтай, авсаархан бүтэцтэй, талбай багатай, автоматжуулалт өндөртэй, энгийн уян хатан ажиллагаатай, тогтвортой ажиллагаатай, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар байдаг.
Тоног төхөөрөмжийг зэвэрдэггүй ган, цахилгаанаар бүрсэн тоног төхөөрөмж / хуванцар эд анги, шил, керамик болон бусад материалд хэрэглэж болно.Титан, хром, мөнгө, зэс эсвэл металлын нийлмэл хальс зэрэг энгийн металлын давхарга, тухайлбал TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC бэлтгэж болно.Энэ нь хар хар, зуухны алт, сарнай алт, дуураймал алт, циркони алт, индранил цэнхэр, тод мөнгө болон бусад өнгөт хүрч чадна.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |