Тоног төхөөрөмжийн катод нь урд ороомог ба байнгын соронзны суперпозицийн хос хөтөчийн технологийг нэвтрүүлж, олон станцын ажлыг нэгэн зэрэг гүйцэтгэхийн тулд анодын давхаргын ионы эх үүсвэрийн сийлбэрийн систем, гурван хэмжээст олон өнцөгт бэхэлгээтэй хамтран ажилладаг.Том диаметртэй катодын нумаар тоноглогдсон, их хэмжээний гүйдлийн үйлчилгээний нөхцөлд катодын нум нь маш сайн хөргөх үзүүлэлттэй, нумын цэгийн хөдөлгөөний хурд, иончлолын өндөр хурдтай, хурдан тунадасжилтын хурдтай тул илүү нягт, жигд бүрэх, түүний бүрээсийг үр ашигтайгаар хуримтлуулах боломжтой. исэлдэлтийн эсэргүүцэл, өндөр температурт тэсвэртэй байх нь илүү чухал давуу талтай.
Төхөөрөмжийг AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN болон бусад өндөр температурт хэт хатуу хучилтаар бүрэх боломжтой бөгөөд эдгээр нь бичил өрөмдлөг, тээрэмдэх таслагч, цорго, саваа хэлбэртэй багаж хэрэгсэл, автомашины эд анги, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг. талбайнууд.
Бүрхүүлгийн шинж чанаруудын жишээ:
Бүрээс | Зузаан (um) | Хатуулаг (HV) | Хамгийн их температур(℃) | Өнгө | Өргөдөл |
Та-C | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | Хар | Графит, карбон файбер, нийлмэл материал, хөнгөн цагаан, хөнгөн цагаан хайлш |
ТиСиН | 1-3 | 3500 | 900 | Хүрэл | 55-60HRC зэвэрдэггүй ган зүсэлт, нарийн өнгөлгөө |
AlTiN-C | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | Цэнхэр саарал | Бага хатуулагтай зэвэрдэггүй ган зүсэх, хөгц үүсгэх, тамгалах хэв |
CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | Саарал | Хүнд зүсэх, тамгалах хэв |
CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | Саарал | 55-60HRC зэвэрдэггүй ган зүсэлт, нарийн өнгөлгөө, хуурай зүсэлт |
HDA0809 | HDA1200 |
φ850*H900(мм) | φ1200*H600(мм) |