Тоног төхөөрөмж нь магнетрон цацах, эсэргүүцэх ууршилтын технологийг нэгтгэсэн бөгөөд янз бүрийн субстратыг бүрэх шийдлийг өгдөг.
Туршилтын бүрэх төхөөрөмжийг ихэвчлэн их дээд сургууль, шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудад ашигладаг бөгөөд туршилтын олон төрлийн шаардлагыг хангаж чаддаг.Төрөл бүрийн салбарын шинжлэх ухааны судалгаа, боловсруулалтыг хангахын тулд уян хатан тохируулж болох тоног төхөөрөмжид янз бүрийн бүтцийн зорилтууд хадгалагдсан байдаг.Магнетрон цацах систем, катод нумын систем, электрон цацрагийн ууршилтын систем, эсэргүүцлийн ууршилтын систем, ЗСБ, PECVD, ионы эх үүсвэр, хэвийсэн систем, халаалтын систем, гурван хэмжээст бэхэлгээ гэх мэтийг сонгож болно.Үйлчлүүлэгчид өөр өөр хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн сонгох боломжтой.
Тоног төхөөрөмж нь үзэмж сайтай, авсаархан бүтэцтэй, талбай багатай, автоматжуулалт өндөртэй, энгийн уян хатан ажиллагаатай, тогтвортой ажиллагаатай, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар байдаг.
Тоног төхөөрөмжийг хуванцар, зэвэрдэггүй ган, цахилгаанаар бүрсэн тоног төхөөрөмж / хуванцар эд анги, шил, керамик болон бусад материалд хэрэглэж болно.Титан, хром, мөнгө, зэс, хөнгөн цагаан, эсвэл TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC зэрэг металлын нийлмэл хальс зэрэг энгийн металл давхаргыг бэлтгэж болно.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |