CVD бүрэх технологи нь дараахь шинж чанартай байдаг.
1. ЗСҮТ-ийн тоног төхөөрөмжийн үйл явц нь харьцангуй энгийн бөгөөд уян хатан бөгөөд өөр өөр харьцаатай дан болон нийлмэл хальс, хайлшин хальс бэлтгэх боломжтой;
2. CVD бүрэх нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй бөгөөд төрөл бүрийн металл эсвэл металл хальсан бүрээсийг бэлтгэхэд ашиглаж болно;
3. Минутанд хэдэн микроноос хэдэн зуун микрон хүртэл тунадасны хурдас шалтгаалан үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашиг;
4. PVD аргатай харьцуулахад CVD нь илүү сайн дифракцийн үзүүлэлттэй бөгөөд ховил, бүрсэн нүх, бүр сохор нүхний бүтэц гэх мэт нарийн төвөгтэй хэлбэр бүхий субстратыг бүрэхэд маш тохиромжтой.Бүрхүүлийг нягтрал сайтай хальс болгон бүрэх боломжтой.Кино үүсгэх явцад өндөр температур, хальсны субстратын интерфейс дээр хүчтэй наалддаг тул хальс нь маш бат бөх байдаг.
5. Цацрагийн улмаас учирсан хохирол нь харьцангуй бага бөгөөд MOS нэгдсэн хэлхээний процессуудтай нэгтгэж болно.
——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа, авакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгч
Шуудангийн цаг: 2023 оны 3-р сарын 29-ний хооронд