Бидний мэдэж байгаагаар хагас дамжуулагчийн тодорхойлолт нь хуурай дамжуулагч ба тусгаарлагчийн хоорондох дамжуулалт, металл ба тусгаарлагчийн хоорондох эсэргүүцэлтэй байдаг бөгөөд энэ нь ихэвчлэн өрөөний температурт 1мΩ-см ~ 1ГОм-см-ийн хүрээнд байдаг. Сүүлийн жилүүдэд вакуум хагас дамжуулагч бүрэх гол хагас дамжуулагч компаниуд, энэ нь ялангуяа зарим томоохон хэмжээний нэгдсэн системийн хэлхээ боловсруулах технологийн судалгааны арга соронзон цахилгаан хувиргах төхөөрөмж, гэрэл ялгаруулах төхөөрөмж болон бусад хөгжүүлэлтийн ажилд түүний статус улам өндөр байгаа нь тодорхой байна.Вакуум хагас дамжуулагч бүрэх нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Хагас дамжуулагч нь дотоод шинж чанар, температур, хольцын агууламж зэргээр тодорхойлогддог.Вакуум хагас дамжуулагч бүрэх материалууд нь үндсэн нэгдлээрээ бие биенээсээ ялгагдана.Ойролцоогоор бүгд бор, нүүрстөрөгч, цахиур, германий, хүнцэл, сурьма, теллур, иод гэх мэт, зарим нь харьцангуй цөөн GaP, GaAs, lnSb зэрэгт суурилдаг. Мөн FeO, Fe₂O₃, гэх мэт ислийн хагас дамжуулагч байдаг. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O гэх мэт.
Вакуум ууршилт, шүрших бүрэх, ион бүрэх болон бусад тоног төхөөрөмжөөр вакуум хагас дамжуулагч бүрэх боломжтой.Эдгээр бүрэх төхөөрөмж нь бүгд ажиллах зарчмаараа ялгаатай боловч тэдгээр нь бүгдээрээ хагас дамжуулагч материалаар бүрэх материалыг субстрат дээр тавьдаг бөгөөд субстратын материалын хувьд ямар ч шаардлага байхгүй, хагас дамжуулагч байж болно.Нэмж дурдахад, янз бүрийн цахилгаан болон оптик шинж чанартай бүрээсийг хагас дамжуулагч субстратын гадаргуу дээр хольцын тархалт, ион суулгацын аль алинаар нь бэлтгэж болно.Үүссэн нимгэн давхаргыг ерөнхийдөө хагас дамжуулагч бүрээс болгон боловсруулж болно.
Вакуум хагас дамжуулагч бүрэх нь идэвхтэй эсвэл идэвхгүй төхөөрөмжүүдийн хувьд электроникийн зайлшгүй чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм.Вакуум хагас дамжуулагч бүрэх технологийг тасралтгүй хөгжүүлснээр хальсны гүйцэтгэлийг нарийн хянах боломжтой болсон.
Сүүлийн жилүүдэд аморф бүрэх, поликристал бүрэх нь фото дамжуулагч төхөөрөмж, бүрсэн хээрийн эффектийн хоолой, өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд хурдацтай ахиц дэвшил гаргаж байна.Нэмж дурдахад, вакуум хагас дамжуулагч бүрээс, мэдрэгчийн нимгэн хальсыг хөгжүүлснээр материал сонгоход ихээхэн хүндрэл учруулж, үйлдвэрлэлийн процессыг аажмаар хялбаршуулдаг.Вакуум хагас дамжуулагч бүрэх төхөөрөмж нь хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай болсон.Энэхүү төхөөрөмжийг камерын төхөөрөмж, нарны зай, бүрсэн транзистор, талбайн ялгаралт, катодын гэрэл, электрон ялгаруулалт, нимгэн хальс мэдрэгч элементүүд гэх мэт хагас дамжуулагч бүрэх ажилд өргөн ашигладаг.
Магнетрон цацах бүрэх шугам нь бүрэн автомат удирдлагын систем, хүн-машины интерфэйстэй, хялбар мэдрэгчтэй дэлгэцээр бүтээгдсэн.Уг шугам нь үйлдвэрлэлийн шугамын бүх бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үйл ажиллагааны төлөв байдал, үйл явцын параметрийн тохиргоо, ашиглалтын хамгаалалт, дохиоллын функцийг бүрэн хянах зорилгоор иж бүрэн функцийн цэсээр бүтээгдсэн.Бүхэл бүтэн цахилгаан хяналтын систем нь аюулгүй, найдвартай, тогтвортой байдаг.Дээд ба доод хоёр талт магнетрон цацах зорилтот эсвэл нэг талт бүрэх системээр тоноглогдсон.
Тоног төхөөрөмжийг ихэвчлэн керамик хэлхээний самбар, чип өндөр хүчдэлийн конденсатор болон бусад субстратын бүрээсэнд ашигладаг бөгөөд хэрэглээний гол талбар нь электрон хэлхээний самбар юм.
Шуудангийн цаг: 2022-11-07