1. Ууршилтын хурд нь ууршуулсан бүрхүүлийн шинж чанарт нөлөөлнө
Ууршилтын хурд нь хуримтлагдсан хальсанд ихээхэн нөлөөлдөг.Тунадасжилт багатайгаас үүссэн бүрхүүлийн бүтэц нь сул бөгөөд их хэмжээний бөөмийн хуримтлал үүсгэхэд хялбар байдаг тул бүрэх бүтцийн нягт байдлыг хангахын тулд илүү өндөр ууршилтын хурдыг сонгох нь маш аюулгүй юм.Вакуум камер дахь үлдэгдэл хийн даралт тогтмол байх үед субстратын бөмбөгдөлтийн хурд тогтмол байна.Иймээс илүү өндөр тунадасны хэмжээг сонгосны дараа хуримтлагдсан хальсанд агуулагдах үлдэгдэл хий багасч, улмаар үлдэгдэл хийн молекулууд болон ууршсан хальсны хэсгүүдийн хоорондох химийн урвал багасна.Тиймээс хадгалсан хальсны цэвэр байдлыг сайжруулж болно.Хэрэв тунадасжилтын хурд хэт хурдан байвал хальсны дотоод стрессийг нэмэгдүүлж, хальсны согогийг нэмэгдүүлж, бүр хальсыг хагарах болно гэдгийг тэмдэглэх нь зүйтэй.Ялангуяа, реактив ууршилтыг бүрэх явцад ууршилтын хальсны материалын хэсгүүдтэй урвалын хий бүрэн урвалд орохын тулд бага тунадасны хурдыг сонгож болно.Мэдээжийн хэрэг, янз бүрийн материалууд өөр өөр ууршилтын хэмжээг сонгоно.Практик жишээ болгон цацруулагч хальсны тунадас, хальсны зузаан нь 600х10-8 см, ууршилтын хугацаа 3 секунд байвал тусгал 93% байна.Гэсэн хэдий ч, ижил зузаантай нөхцөлд ууршилтын хурд удааширсан тохиолдолд хальсыг буулгахад 10 минут шаардагдана.Энэ үед хальсны зузаан ижил байна.Гэсэн хэдий ч тусгал 68% хүртэл буурсан байна.
2. Субтратын температур нь ууршилтын бүрхүүлд нөлөөлнө
Субстратын температур нь ууршилтын бүрхүүлд ихээхэн нөлөөлдөг.Субстратын өндөр температурт субстратын гадаргуу дээр шингэсэн үлдэгдэл хийн молекулуудыг арилгахад хялбар байдаг.Ялангуяа усны уурын молекулыг арилгах нь илүү чухал юм.Түүнээс гадна өндөр температурт физик шингээлтээс химийн шингээлт рүү шилжихэд хялбар биш бөгөөд ингэснээр бөөмс хоорондын холбох хүчийг нэмэгдүүлдэг.Түүнчлэн, энэ нь уурын молекулуудын дахин талстжих температур ба субстратын температурын хоорондох ялгааг бууруулж, хальсан дээр суурилсан интерфэйсийн дотоод стрессийг бууруулж эсвэл арилгах боломжтой.Нэмж дурдахад, субстратын температур нь хальсны талст төлөвтэй холбоотой байдаг тул субстратын температур бага эсвэл халаалтгүй нөхцөлд аморф эсвэл микрокристалл бүрээс үүсэхэд хялбар байдаг.Эсрэгээр, өндөр температуртай үед талст бүрхүүл үүсэхэд хялбар байдаг.Субстратын температурыг нэмэгдүүлэх нь бүрхүүлийн механик шинж чанарыг сайжруулахад тустай.Мэдээжийн хэрэг, бүрхүүлийн ууршилтаас сэргийлэхийн тулд субстратын температур хэт өндөр байх ёсгүй.
3. Вакуум камер дахь үлдэгдэл хийн даралт нь хальсны шинж чанарт нөлөөлнө
Вакуум камер дахь үлдэгдэл хийн даралт нь мембраны гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг.Хэт өндөр даралттай үлдэгдэл хийн молекулууд нь ууршдаг хэсгүүдтэй мөргөлдөхөд хялбар төдийгүй субстрат дээрх хүмүүсийн кинетик энергийг бууруулж, хальсны наалдацанд нөлөөлнө.Үүнээс гадна хэт өндөр үлдэгдэл хийн даралт нь хальсны цэвэр байдалд ноцтой нөлөөлж, бүрхүүлийн гүйцэтгэлийг бууруулдаг.
4. Ууршилтын бүрээсэнд ууршилтын температурын нөлөө
Ууршилтын температурын мембраны гүйцэтгэлд үзүүлэх нөлөө нь ууршилтын хурдыг температурын өөрчлөлтөөр харуулдаг.Ууршилтын температур өндөр байвал ууршилтын дулаан буурна.Хэрэв мембран материал ууршилтын температураас дээш ууршсан бол температурын бага зэрэг өөрчлөлт нь мембран материалын ууршилтын хурдыг огцом өөрчлөхөд хүргэдэг.Тиймээс ууршилтын эх үүсвэрийг халаах үед их хэмжээний температурын градиент үүсэхээс зайлсхийхийн тулд хальсыг буулгах явцад ууршилтын температурыг нарийн хянах нь маш чухал юм.Сублиматжуулахад хялбар кино материалын хувьд ууршилт болон бусад арга хэмжээний халаагуураар материалыг өөрөө сонгох нь маш чухал юм.
5. Субстрат болон бүрэх тасалгааны цэвэрлэгээний байдал нь бүрэх гүйцэтгэлд нөлөөлнө
Субстрат болон бүрэх тасалгааны цэвэр байдал нь бүрхүүлийн гүйцэтгэлд үзүүлэх нөлөөг үл тоомсорлож болохгүй.Энэ нь хадгалсан хальсны цэвэр байдалд ноцтой нөлөөлөхөөс гадна хальсны наалдацыг багасгах болно.Тиймээс субстратыг цэвэрлэх, вакуум бүрэх камер болон түүнтэй холбоотой бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг цэвэрлэх эмчилгээ (субстратын хүрээ гэх мэт), гадаргуугийн хийгүйжүүлэх зэрэг нь вакуум бүрэх процесст зайлшгүй шаардлагатай үйл явц юм.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 28