Вакуум бүрэх нь үндсэндээ вакуум уурын хуримтлал, шүршигч бүрэх, ион бүрэх зэрэг багтдаг бөгөөд эдгээр нь вакуум нөхцөлд нэрэх эсвэл цацах замаар хуванцар эд ангиудын гадаргуу дээр төрөл бүрийн металл ба металл бус хальсыг буулгахад ашигладаг бөгөөд энэ нь маш нимгэн гадаргууг бүрэх боломжтой. хурдан наалддаг гайхалтай давуу талтай боловч үнэ нь бас өндөр, ашиглах боломжтой металлын төрөл нь бага бөгөөд ихэвчлэн өндөр зэрэглэлийн бүтээгдэхүүнийг функциональ бүрэх ажилд ашигладаг.
Вакуум уурын хуримтлал гэдэг нь металыг өндөр вакуум орчинд халааж, хайлуулж, ууршуулж, хөргөсний дараа дээжийн гадаргуу дээр 0.8-1.2 um зузаантай нимгэн металл хальс үүсгэх арга юм.Энэ нь үүссэн бүтээгдэхүүний гадаргуу дээрх жижиг хотгор ба гүдгэр хэсгүүдийг дүүргэж толин тусгал мэт гадаргуутай болно. Толин тусгал үүсгэх эсвэл бага наалдсан ганг вакуумаар ууршуулахын тулд вакуум уурын хуримтлал хийх үед доод гадаргуу нь бүрсэн байх ёстой.
Цус цацах гэдэг нь ихэвчлэн магнетрон шүршихийг хэлдэг бөгөөд энэ нь өндөр хурдтай бага температурт цацах арга юм.Уг процесст ойролцоогоор 1×10-3Торр вакуум шаардлагатай, өөрөөр хэлбэл инертийн хийн аргон (Ar) болон хуванцар субстрат (анод) ба металл зорилтот (катод) болон өндөр хүчдэлийн хооронд дүүргэсэн 1.3×10-3Па вакуум төлөвтэй байх шаардлагатай. Тогтмол гүйдэл нь гэрэлтэх цэнэгийн улмаас үүссэн инертийн хийн электрон өдөөлтөөс болж плазм үүсгэдэг тул плазм нь металлын зорилтот атомыг тэсэлж, хуванцар субстрат дээр байрлуулна.Ихэнх ерөнхий металл бүрээс нь тогтмол гүйдлийн цацалтыг ашигладаг бол дамжуулагч бус керамик материал нь RF AC цацалтыг ашигладаг.
Ион бүрэх гэдэг нь хийн ялгаруулалтыг хий буюу ууршуулсан бодисыг вакуум нөхцөлд хэсэгчлэн ионжуулах, ууршуулсан бодис буюу түүний урвалд орох бодисыг хийн ион эсвэл ууршуулсан бодисын ионоор бөмбөгдөх замаар субстрат дээр байршуулах арга юм.Үүнд: магнетрон цацруулагч ионы бүрээс, реактив ионы бүрээс, хөндий катодын ялгадас ионы бүрээс (хотгор катодын уурын хуримтлуулах арга), олон нумын ионы бүрээс (катодын нумын ионы бүрээс).
Шугамын дагуу босоо хоёр талт магнетрон цацах тасралтгүй бүрэх
Өргөн хэрэглээний боломжтой, электрон бүтээгдэхүүнд ашиглах боломжтой, тухайлбал дэвтэрийн бүрхүүлийн EMI хамгаалалтын давхарга, хавтгай бүтээгдэхүүн, тэр ч байтугай тодорхой өндөр үзүүлэлтийн хүрээнд бүх чийдэнгийн аяга бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх боломжтой.Ачаалах хүчин чадал ихтэй, авсаархан хавчих ба шаталсан хавчих конус хэлбэрийн гэрлийн аяга нь хоёр талт бүрээстэй бөгөөд энэ нь илүү их даацтай байх боломжтой.Тогтвортой чанар, багцаас багц хүртэлх кино давхаргын сайн тууштай байдал.Өндөр түвшний автоматжуулалт, бага ажиллах хүчний зардал.
Шуудангийн цаг: 2022-11-07