1. Дулааны CVD технологи
Хатуу бүрээс нь ихэвчлэн металл керамик бүрээс (TiN гэх мэт) бөгөөд тэдгээр нь бүрэх болон реактив хийжүүлэхэд металлын урвалын үр дүнд үүсдэг.Эхлээд дулааны CVD технологийг 1000 ℃ өндөр температурт дулааны эрчим хүчээр хосолсон урвалын идэвхжүүлэлтийн энергийг хангахад ашигласан.Энэ температур нь зөвхөн цементэн карбидын багаж дээр TiN болон бусад хатуу бүрээсийг буулгахад тохиромжтой.Өнөөг хүртэл энэ нь цементжүүлсэн карбидын багажны толгойн дээр TiN-Al20 нийлмэл бүрээсийг буулгах чухал технологи хэвээр байна.
2. Хөндий катодын ионы бүрээс ба халуун утсан нуман ионы бүрээс
1980-аад онд бүрсэн зүсэгч багажийг буулгахад хөндий катодын ионы бүрээс болон халуун утсан нуман ионы бүрээсийг ашигласан.Эдгээр хоёр ион бүрэх технологи нь 20% ~ 40% хүртэлх металлын иончлолын хурдтай нуман гадагшлуулах ион бүрэх технологи юм.
3. Катодын нумын ионы бүрээс
Катодын нуман ионы бүрээс үүссэн нь хөгц дээр хатуу бүрээсийг буулгах технологийг хөгжүүлэхэд хүргэсэн.Катодын нумын ионы бүрээсийн иончлолын хурд нь 60% ~ 90% байдаг бөгөөд энэ нь олон тооны металл ионууд болон урвалын хийн ионууд ажлын хэсгийн гадаргуу дээр хүрч, өндөр идэвхтэй хэвээр байх боломжийг олгодог бөгөөд үүний үр дүнд урвалын хуримтлал, хатуу бүрхүүл үүсдэг. TiN.Одоогийн байдлаар катод нуман ион бүрэх технологийг хэвэнд хатуу бүрээсийг буулгахад голчлон ашигладаг.
Катодын нумын эх үүсвэр нь тогтмол хайлсан усан сангүй хатуу төлөвт ууршилтын эх үүсвэр бөгөөд нумын эх үүсвэрийн байрлалыг дур мэдэн байрлуулж, бүрэх өрөөний зай ашиглалтын хурдыг сайжруулж, зуухны даацыг нэмэгдүүлнэ.Катодын нумын эх үүсвэрийн хэлбэрт жижиг дугуй катод нумын эх үүсвэр, багана нуман эх үүсвэр, тэгш өнцөгт хавтгай том нумын эх үүсвэрүүд орно.Жижиг нумын эх үүсвэр, багана нуман эх үүсвэр, том нуман эх үүсвэрийн өөр өөр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг тус тусад нь байрлуулж, олон давхаргат хальс болон нано олон давхаргат хальсыг буулгаж болно.Үүний зэрэгцээ катодын нумын ионы бүрээсийн металл иончлолын хурд өндөр байдаг тул металлын ионууд нь илүү их урвалын хийг шингээж чаддаг тул процессын өргөн хүрээг хамардаг бөгөөд маш сайн хатуу бүрээсийг олж авахад хялбар байдаг.Гэсэн хэдий ч катодын нумын ионы бүрээсээр олж авсан бүрхүүлийн давхаргын бичил бүтцэд том ширхэгтэй дуслууд байдаг.Сүүлийн жилүүдэд хальсны давхаргын бүтцийг боловсронгуй болгох олон шинэ технологи бий болсон нь нуман ион бүрэх хальсны чанарыг сайжруулсан.
——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа Технологи, aоптик бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 4-р сарын 28