Плазмын шууд полимержих процесс

Плазмын шууд полимержих процесс

Плазмын полимержих процесс нь дотоод электродыг полимержуулах төхөөрөмж болон гадаад электрод полимержуулах төхөөрөмжийн аль алинд нь харьцангуй энгийн боловч плазмын полимержилтын үед параметрүүд нь полимер хальсны бүтэц, гүйцэтгэлд илүү их нөлөө үзүүлдэг тул плазмын полимержилтод параметрийн сонголт илүү чухал байдаг.

Плазмын шууд полимержих үйл ажиллагааны үе шатууд дараах байдалтай байна.

(1) тоос соруулах

Вакуум нөхцөлд полимержих суурь вакуумыг 1.3×10-1Па хүртэл шахах хэрэгтэй.Хүчилтөрөгч эсвэл азотын агууламжийг хянах тусгай шаардлага шаарддаг полимержих урвалын хувьд суурь вакуум шаардлага бүр ч өндөр байдаг.

(2) Цэнэглэх урвалын мономер буюу тээвэрлэгч хий ба мономерын холимог хий

Вакуум зэрэг нь 13-130 Па байна.Ажил шаардсан плазмын полимержилтын хувьд урсгалын хяналтын зохих горим ба урсгалын хурдыг ерөнхийд нь 10.100 мл/мин сонгоно.Цусны сийвэн дэх мономер молекулууд нь ионжуулж, эрчим хүчний бөөмсийг бөмбөгдсөний үр дүнд ион, идэвхтэй ген зэрэг идэвхтэй хэсгүүд үүсдэг.Плазмаар идэвхжсэн идэвхтэй тоосонцор нь хийн фаз ба хатуу фазын интерфэйс дээр плазм полимержих боломжтой.Мономер нь плазмын полимержилтын эх үүсвэр бөгөөд оролтын урвалын хий ба мономер нь тодорхой цэвэршилттэй байх ёстой.

(3) Өдөөлтийн тэжээлийн хангамжийг сонгох

Полимержих плазмын орчинг бүрдүүлэхийн тулд тогтмол гүйдэл, өндөр давтамжийн, RF эсвэл богино долгионы тэжээлийн эх үүсвэрийг ашиглан плазмыг үүсгэж болно.Цахилгаан хангамжийн сонголтыг полимерийн бүтэц, гүйцэтгэлд тавигдах шаардлагад үндэслэн тодорхойлно.

(4) Цэнэглэх горимыг сонгох

Полимерийн шаардлагын хувьд плазмын полимержилт нь тасралтгүй ялгадас эсвэл импульсийн ялгадас гэсэн хоёр горимыг сонгож болно.

(5) Ус зайлуулах параметрүүдийг сонгох

Плазмын полимержилтийг явуулахдаа плазмын параметрүүд, полимер шинж чанар, бүтцийн шаардлагаас ялгарах параметрүүдийг харгалзан үзэх шаардлагатай.Полимержих үед хэрэглэх хүч чадлын хэмжээг вакуум камерын эзэлхүүн, электродын хэмжээ, мономерын урсгалын хурд ба бүтэц, полимержих хурд, полимерийн бүтэц, гүйцэтгэлээр тодорхойлно.Жишээлбэл, урвалын камерын эзэлхүүн 1л, RF-ийн плазмын полимержилтийг хэрэглэвэл цэнэгийн цэнэг нь 10 ~ 30 Вт байх болно.Ийм нөхцөлд үүссэн плазмыг нэгтгэж, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.Плазмын полимержих хальсны өсөлтийн хурд нь цахилгаан хангамж, мономерын төрөл, урсгалын хурд, процессын нөхцлөөс хамаарч өөр өөр байдаг.Ерөнхийдөө өсөлтийн хурд нь 100нм/мин~1ум/мин байна.

(6) Плазмын полимержилтийн параметрийн хэмжилт

Плазмын полимержилтийн үед хэмжигдэх плазмын параметрүүд болон процессын параметрүүд нь: ялгарах хүчдэл, ялгарах гүйдэл, ялгарах давтамж, электроны температур, нягтрал, урвалын бүлгийн төрөл ба концентраци гэх мэт.

——Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа Технологи, aоптик бүрэх машин үйлдвэрлэгч.