1. Бөмбөлөг цэвэрлэх субстрат
1.1) Шүршигч бүрэх машин нь субстратыг цэвэрлэхийн тулд гялалзсан ялгадасыг ашигладаг.Өөрөөр хэлбэл, аргон хийг камерт цэнэглэж, цэнэггүй болгох хүчдэл нь ойролцоогоор 1000 В, цахилгаан тэжээлийг асаасны дараа гэрэлтэх цэнэг үүсч, аргон ионы бөмбөгдөлтөөр субстратыг цэвэрлэнэ.
1.2) Үйлдвэрийн аргаар өндөр чанартай гоёл чимэглэл үйлдвэрлэдэг шүршигч бүрэх машинд жижиг нуман эх үүсвэрээс ялгардаг титан ионыг ихэвчлэн цэвэрлэхэд ашигладаг.Шүршигч бүрэх машин нь бага оврын нуман эх үүсвэрээр тоноглогдсон бөгөөд нуман эх үүсвэрийн жижиг ялгаралтаас үүссэн нумын плазм дахь титан ионы урсгалыг субстратыг бөмбөгдөж, цэвэрлэхэд ашигладаг.
2. Титан нитридын бүрээс
Титан нитридын нимгэн хальсыг түрхэх үед шүрших зорилтот материал нь титан юм.Зорилтот материал нь шүрших тэжээлийн тэжээлийн сөрөг электродтой холбогдсон ба зорилтот хүчдэл нь 400 ~ 500 В;Аргоны урсгал тогтмол, хяналтын вакуум нь (3~8) x10 байна-1PA.Субстрат нь 100~200В хүчдэлтэй, хэвийсэн тэжээлийн тэжээлийн сөрөг электродтой холбогдсон байна.
Шүрших титаны байны тэжээлийн эх үүсвэрийг асаасаны дараа гэрэлтэх ялгадас үүсч, өндөр энергитэй аргон ионууд цацах объектыг бөмбөгдөж, байн дээрээс титан атомуудыг цацна.
Урвалын хийн азотыг нэвтрүүлж, титаны атом ба азотыг бүрэх камерт титан ион, азотын ион болгон ионжуулна.Субстратад хэрэглэсэн сөрөг хэвийсэн цахилгаан талбайн таталцлын дор титаны ионууд болон азотын ионууд нь субстратын гадаргуу руу хурдасч, химийн урвалд орж, титан нитридын хальсан давхарга үүсгэдэг.
3. Субстратыг гаргаж авна
Урьдчилан тогтоосон зузаантай болсны дараа цацах цахилгаан хангамж, субстратын цахилгаан хангамж, агаарын эх үүсвэрийг унтраа.Субстратын температур 120 хэмээс доош болсны дараа бүрэх камерыг агаараар дүүргэж, субстратыг гаргаж авна.
Энэхүү нийтлэлийг нийтлэвмагнетрон цацах бүрэх машин үйлдвэрлэгч- Гуандун Жэнхуа.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 4-р сарын 07