Хоосон катодын ион бүрэх үйл явц

Хоосон катодын ион бүрэх үйл явц дараах байдалтай байна.

1、Чиний ембүүг нуралтанд хийнэ.

2, Ажлын хэсгийг суурилуулах.

3、5×10-3Па хүртэл нүүлгэн шилжүүлсний дараа аргон хий нь мөнгөн хоолойноос бүрэх камерт орох ба вакуум түвшин 100Па орчим байна.

4、Хязгаарлалтын хүчийг асаана уу.

5、Нумын хүчийг асаасны дараа катодын хөндийн ялгадасыг асаана. Гялалзах цэнэг нь товчлуурын хоолойд үүснэ, Цутгах хүчдэл 800~1000V, Нуман өргөх гүйдэл 30~50А байна. ялгадас, Гялалзах гүйдлийн өндөр нягтрал, Мөнгөний хоолой дахь хархны ионуудын өндөр нягт нь вантаж хоолойн ханыг бөмбөгддөг, Хоолойн ханыг электрон урсгалын ялгаралт хүртэл хурдан дулаацуулж, гэрэлтэх цэнэгийн ялгаралтаас ялгарах горим гэнэт өөрчлөгддөг. нуман цэнэг, Хүчдэл 40~70В,Гүйдэл 80~300А.Мөнгөн хоолойн температур 2300К-ээс дээш,Улайсдаг,Хоолоноос нуман электронуудын өндөр нягтралтай урсгалыг ялгаруулж, анод руу бууддаг.

6、Вакуум түвшний тохируулга. Хөндий катодын буунаас ялгарах вакуум түвшин ойролцоогоор 100 Па, бүрэх вакуум зэрэг нь 8×10-1~2 Па байна. Иймд нумын цэнэг ассаны дараа орж ирж буй аргоныг багасгана. хийг аль болох хурдан, вакуум түвшинг бүрэхэд тохиромжтой хэмжээнд тохируулна.

7、Титан бүрсэн суурь давхарга. Анодоор нурсан эрүүний металл ембүү дээр электрон урсах, кинетик энергийг дулааны энерги болгон хувиргах, Халаах замаар эрүүний металлыг ууршуулах, Уурын атомууд ажлын хэсэгт хүрч титан хальс үүсгэдэг.

8、TiN-ийн хуримтлал.Азотын хийг бүрэх камерт нийлүүлдэг,Азотын хий болон ууршсан атомууд нь азот, титан ионууд болж иончлогдоно.Тигелийн дээгүүр,Титаны уурын атомууд бага энергийн нягт урсгалтай цахилгааны уян хатан бус мөргөлдөөн үүсэх магадлал өндөр, Металлын диссоциацийн хурд нь 20%~40% хүртэл өндөр байдаг., Титан ионууд нь хийн азоттой химийн урвалд орох магадлал өндөр байдаг, Нитридын мантийн хальсыг гаргаж авахын тулд тунадас үүсгэдэг. Хөндий катодын буу нь аль аль нь ууршуулах эх үүсвэр юм， Өөр нэг эх сурвалж иончлолын. Бүрэх явцад, Тигль орчмын цахилгаан соронзон ороомгийн гүйдлийг мөн тохируулах хэрэгтэй,Электрон туяаг нуралтын төвд төвлөрүүлэх,Тиймээс электрон урсгалын эрчим хүчний нягтрал нэмэгдэнэ.

9、Ачаа унтарна. Киноны зузаан нь урьдчилан тогтоосон зузаанд хүрсний дараа нуман тэжээлийн хангамжийг унтраана, цахилгаан хангамж болон агаарын хангамжийг хазайна.