Ууршилтаар бүрэх явцад хальсан давхаргын бөөмжилт, өсөлт нь янз бүрийн ион бүрэх технологийн үндэс суурь болдог.
1. Цөмжилт
Inвакуум ууршуулах бүрэх технологи,Ууршилтын эх үүсвэрээс хальсан давхаргын тоосонцор атом хэлбэрээр ууршсаны дараа тэдгээр нь өндөр вакуум орчинд шууд бэлдэц рүү нисч, бэлдэцийн гадаргуу дээр бөөм болон ургах замаар хальсан давхарга үүсгэдэг.Вакуум ууршилтын үед ууршилтын эх үүсвэрээс гарч буй хальсан давхаргын атомын энерги ойролцоогоор 0.2эВ байна.Кино давхаргын хэсгүүдийн хоорондын уялдаа холбоо нь хальсны давхаргын атомууд ба ажлын хэсгийн атомуудын хоорондох холболтын хүчнээс их байвал арлын цөмийг үүсгэдэг.Нэг хальсан давхарга бүхий атом нь ажлын хэсгийн гадаргуу дээр тогтворгүй хөдөлгөөн, тархалт, шилжилт хөдөлгөөн эсвэл бусад атомуудтай мөргөлдөж, атомын бөөгнөрөл үүсгэнэ. нэг төрлийн цөм гэж нэрлэгддэг цөм үүсдэг.
гөлгөр бөгөөд олон согог, үе шатыг агуулсан байдаг нь ажлын хэсгийн янз бүрийн хэсгүүдийн цацраг идэвхт атомуудад шингээх хүчний зөрүүг үүсгэдэг.Согогийн гадаргуугийн шингээлтийн энерги нь ердийн гадаргуугаас их байдаг тул энэ нь гетероген бөөм гэж нэрлэгддэг давуу цөм үүсэхэд тустай идэвхтэй төв болдог.Хамтарсан хүч нь холбох хүчтэй тэнцүү эсвэл мембраны атом ба бэлдэцийг хооронд нь холбох хүч нь мембраны атомуудын хоорондох нэгдэх хүчээс их байвал давхаргын бүтэц үүсдэг.Ион бүрэх технологид ихэнх тохиолдолд арлын цөм үүсдэг.
2. Өсөлт
Киноны цөм нь үүссэний дараагаар туссан атомуудыг барьж ургасаар байдаг. Арлууд ургаж, бие биетэйгээ нийлж том хагас бөмбөрцгийг үүсгэн аажмаар хагас бөмбөрцөг хэлбэрийн арлын давхарга үүсгэдэг бөгөөд энэ нь ажлын хэсгийн гадаргуу дээгүүр тархдаг.
Кино давхаргын атомын энерги их байх үед гадаргуу дээр хангалттай тархаж, дараагийн орж ирж буй атомын бөөгнөрөл бага байх үед гөлгөр тасралтгүй хальс үүсч болно.Хэрэв гадаргуу дээрх атомуудын тархалт сул, хэмжээ нь хуримтлагдсан бөөгнөрөл нь том, том хойгийн цөм хэлбэрээр оршдог. Арлын голын дээд хэсэг нь хонхор хэсэгт хүчтэй сүүдэрлэх нөлөөтэй, өөрөөр хэлбэл "сүүдрийн эффект" юм. Гадаргуугийн проекц нь дараагийн хуримтлагдсан атомуудыг барьж авахад илүү тохиромжтой. болон давуу ургах, үр дүнд нь хангалттай хэмжээний конус эсвэл бортгон талстыг бий болгохын тулд гадаргуу дээрх хонхорхойн зэрэг нэмэгддэг.Конус талстуудын хооронд нэвчсэн хоосон зай үүсч, гадаргуугийн тэгш бус байдлын утга нэмэгддэг. Өндөр вакуумд нарийн ширхэгтэй эдийг авах боломжтой бөгөөд вакуум багасах тусам мембраны бичил бүтэц зузаарч, зузаан болдог.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 5-р сарын 24-ний хооронд