Жижиг нуман эх үүсвэрийн ион бүрэх үйл явц

Катодын нуман эх үүсвэрийн ион бүрэх үйл явц нь үндсэндээ бусад бүрэх технологитой адил бөгөөд ажлын хэсгүүдийг суурилуулах, тоос соруулах зэрэг зарим үйлдлүүд дахин давтагдахаа больсон.

1.Бөмбөлгүүдийг бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх

Бүрэхээс өмнө аргон хийг 2х10-2Па вакуумаар бүрэх камерт оруулна.

20% -ийн ажлын мөчлөг, 800-1000 В-ийн ажлын хэсгийн хазайлт бүхий импульсийн хэвийсэн тэжээлийн хангамжийг асаана.

Нумын хүчийг асаахад хүйтэн талбайн нумын гэрлийн цэнэг үүсэх ба энэ нь нумын эх үүсвэрээс их хэмжээний электрон гүйдэл, титан ионы гүйдэл ялгаруулж, өндөр нягтралтай плазм үүсгэдэг.Титан ион нь бэлдэцэд хэрэглэсэн сөрөг өндөр даралтын дор бэлдэц рүү шахах үйл явцыг хурдасгаж, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр шингэсэн үлдэгдэл хий, бохирдуулагчийг бөмбөгдөж, цацаж, ажлын хэсгийн гадаргууг цэвэрлэж, цэвэрлэдэг;Үүний зэрэгцээ бүрэх камер дахь хлорын хий нь электронуудаар ионждог бөгөөд аргон ионууд нь ажлын хэсгийн гадаргууг бөмбөгдөлтийг хурдасгадаг.

Тиймээс бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх нөлөө сайн байна.Зөвхөн 1 минут орчим бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх нь ажлын хэсгийг цэвэрлэх боломжтой бөгөөд үүнийг "гол нуман бөмбөг" гэж нэрлэдэг.Титан ионы масс ихтэй тул жижиг нуман эх үүсвэрийг удаан хугацаагаар бөмбөгдөж, бэлдэцийг цэвэрлэхэд ашигладаг бол ажлын хэсгийн температур хэт халах хандлагатай байдаг ба багажны ирмэг нь зөөлөн болдог.Ерөнхий үйлдвэрлэлд бага оврын нуман эх үүсвэрүүдийг дээрээс доош нь нэг нэгээр нь асаах ба жижиг нумын эх үүсвэр бүр 1 минут орчим бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх хугацаатай байдаг.

（1） Титан доод давхаргыг бүрэх

Кино ба субстратын хоорондох наалдацыг сайжруулахын тулд титан нитридыг бүрэхээс өмнө цэвэр титан субстратын давхаргыг ихэвчлэн бүрсэн байдаг.Вакуум түвшинг 5×10-2-3×10-1Па болгож, бэлдэцийн хэвийсэн хүчдэлийг 400-500В болгож, импульсийн хэвийсэн тэжээлийн хангамжийн ажиллах циклийг 40%~50% хүртэл тохируулна.Хүйтэн талбайн нумын ялгадас үүсгэхийн тулд жижиг нуман эх үүсвэрүүдийг нэг нэгээр нь асаасаар байна.Ажлын хэсгийн сөрөг хэвийсэн хүчдэлийн бууралтаас болж титан ионы энерги буурдаг.Ажлын хэсэгт хүрсний дараа шүрших нөлөө нь тунадасны нөлөөнөөс бага байх ба титан нитридын хатуу хальс ба субстрат хоорондын холболтын хүчийг сайжруулахын тулд ажлын хэсэг дээр титан шилжилтийн давхарга үүсдэг.Энэ процесс нь мөн ажлын хэсгийг халаах үйл явц юм.Цэвэр титаны байг гадагшлуулах үед плазм дахь гэрэл нь номин цэнхэр өнгөтэй болно.

1.Аммонижуулсан аяганы хатуу хальсан бүрхүүл

Вакуум зэргийг 3×10 болгож тохируулна уу^-1-5Па, бэлдэцийн хэвийсэн хүчдэлийг 100-200V болгож, импульсийн хэвийсэн тэжээлийн тэжээлийн ажиллах циклийг 70% ~ 80% хүртэл тохируулна.Азотыг нэвтрүүлсэний дараа титан нь нумын ялгадастай плазмтай хослуулан титан нитридын хатуу хальс үүсгэдэг.Энэ үед вакуум камер дахь плазмын гэрэл интоорын улаан өнгөтэй байна.Хэрэв C₂H₂, О₂, гэх мэтийг нэвтрүүлсэн, TiCN, TiO₂, гэх мэт кино давхаргыг авч болно.

-Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгч