Төрөл бүрийн вакуум насосны гүйцэтгэл нь вакуумыг камерт шахах чадвараас гадна өөр өөр ялгаатай байдаг.Тиймээс сонгохдоо вакуум систем дэх насосны гүйцэтгэсэн ажлыг тодруулах нь маш чухал бөгөөд янз бүрийн ажлын талбарт насосны гүйцэтгэх үүргийг дараах байдлаар нэгтгэн дүгнэв.
1、Системийн гол насос байх
Үндсэн шахуурга нь вакуум насос бөгөөд вакуум системийн шахуургын камерыг шууд шахаж, процессын шаардлагыг хангахад шаардагдах вакуум зэргийг авдаг.
2、Барзгар шахуургын насос
Барзгар шахуургын насос нь агаарын даралтаас буурч эхэлдэг вакуум насос бөгөөд вакуум системийн даралт өөр шахуургын системд хүрч ажиллаж эхлэх боломжтой.
3、 Урьдчилсан шатны насос
Шатны өмнөх шахуурга нь өөр шахуургын үе шатны өмнөх даралтыг зөвшөөрөгдсөн хамгийн дээд түвшний даралтаас доогуур байлгахад ашигладаг вакуум насос юм.
4、Барилгын насос
Холдинг насос нь вакуум системийн шахуурга маш бага үед үндсэн урьдчилсан шатны насосыг үр дүнтэй ашиглах боломжгүй насос юм.Ийм учраас вакуум системд үндсэн насосны хэвийн ажиллагааг хангах эсвэл хоосорсон саванд шаардагдах нам даралтыг хадгалахын тулд шахуургын хурд багатай өөр төрлийн туслах шахуургыг ашигладаг.
5、Барзгар вакуум насос эсвэл бага вакуум насос
Барзгар эсвэл бага вакуум насос нь агаараас эхэлж, шахдаг савны даралтыг бууруулсны дараа бага эсвэл барзгар вакуум даралтын хүрээнд ажилладаг вакуум насос юм.
6、Өндөр вакуум насос
Өндөр вакуум насос нь өндөр вакуум орчинд ажилладаг вакуум насосыг хэлдэг.
7、Хэт өндөр вакуум насос
Хэт өндөр вакуум насос нь хэт өндөр вакуум мужид ажилладаг вакуум насосыг хэлдэг.
8、Өдөөгч насос
Өргөлтийн насос гэдэг нь ихэвчлэн дунд даралтын мужид шахах системийн шахуургын хүчин чадлыг нэмэгдүүлэх эсвэл хуучин насосны шахах хурдны шаардлагыг багасгах зорилгоор бага вакуум насос ба өндөр вакуум насосны хооронд ажилладаг вакуум насосыг хэлдэг.
Ион цэвэрлэгчийн танилцуулга
Плазмын цэвэрлэгч
1. Плазма нь эерэг ион ба электронуудын нягт ойролцоогоор тэнцүү байдаг ионжуулсан хий юм.Энэ нь ион, электрон, чөлөөт радикалууд, төвийг сахисан хэсгүүдээс бүрдэнэ.
2. Энэ нь материйн дөрөв дэх төлөв юм.Плазм нь хийтэй харьцуулахад илүү их энергийн нэгдэл тул плазмын орчин дахь бодис нь илүү физик-химийн болон бусад урвалын шинж чанарыг олж авах боломжтой.
3. плазм цэвэрлэх машины механизм нь гадаргуугийн толбыг арилгахын тулд материалын "идэвхжүүлэх нөлөө" -ийн "плазмын төлөв байдалд" найдах явдал юм.
4. Плазма цэвэрлэгээ нь бүх цэвэрлэгээний аргуудаас хамгийн ёроолгүй хөрс хуулалт юм.Энэ нь хагас дамжуулагч, микроэлектроник, COG, LCD, LCM, LED процесст өргөн хэрэглэгддэг.
5. Төхөөрөмжийн сав баглаа боодол, вакуум электроник, холбогч ба реле, нарны фотоволтайк үйлдвэр, хуванцар, резин, металл болон керамик гадаргууг цэвэрлэх, эш татан сийлбэрлэх, үнс цэвэрлэх, гадаргууг идэвхжүүлэх болон бусад амьдралын шинжлэх ухааны туршилтуудын өмнө нарийн цэвэрлэгээ хийх.
Шуудангийн цаг: 2022-11-07