Вакуум бүрэх процесс нь хэрэглээний орчинд хатуу шаардлага тавьдаг.Уламжлалт вакуум процессын хувьд түүний вакуум ариун цэврийн байгууламжид тавигдах үндсэн шаардлага нь: вакуум дахь тоног төхөөрөмжийн эд анги, гадаргуу дээр хуримтлагдсан бохирдлын эх үүсвэр байхгүй, вакуум камерын гадаргуу нь гөлгөр, зөөлөн эд, нүх сүв, булангийн зайгүй байх ёстой. , тиймээс вакуум машин дахь гагнуур нь вакуумд нөлөөлөхгүй бөгөөд өндөр вакуум машин нь тосолгооны материал болгон ашиглах ёсгүй.Тосгүй хэт өндөр вакуум систем нь ажлын орчны цэвэр байдал, ажлын гүйцэтгэл эсвэл гадаргуугийн шинж чанарт газрын тосны уурын нөлөөллөөс зайлсхийх ёстой.Хэт өндөр вакуум металлын систем нь ихэвчлэн 1Cr18Ni9Ti-ийг бүтцийн материал болгон ашигладаг.Вакуум бүрэх машиныг цэвэр, ариун цэврийн шаардлага хангасан байх ёстой лаборатори эсвэл цех.
Вакуум бүрэх явцад гадаргууг цэвэрлэх нь маш чухал юм.Үндсэндээ, бүх субстратыг бүрэх вакуум камерт ачихаас өмнө тэдгээр нь ажлын хэсгийн тосыг арилгах, ариутгах, усгүйжүүлэхэд хүрэхийн тулд бүрэхээс өмнөх цэвэрлэгээ хийх ёстой.
Бүрсэн эд ангиудын гадаргууг бохирдуулах үндсэн эх үүсвэрүүд нь: тоос, хөлс, тос, өнгөлгөөний зуурмаг, тос, тосолгооны тос болон бусад бодисыг боловсруулах, дамжуулах, савлах болон бусад процессын явцад наалдсан байх;Тоног төхөөрөмжийн эд ангиудын гадаргуу дээр шингэсэн хий;Нойтон агаарт бүрэх машины эд ангиудын гадаргуу дээр үүссэн ислийн хальс.Эдгээр эх үүсвэрээс үүссэн бохирдлыг арилгахын тулд ихэнх хэсгийг тосноос нь цэвэрлэх эсвэл химийн аргаар цэвэрлэх боломжтой.
Цэвэрлэсэн ажлын хэсгүүдийг агаар мандлын орчинд бүү хадгал.Тоосжилтын бохирдлыг багасгах, ажлын хэсгүүдийн агуулахыг цэвэрлэхийн тулд ажлын хэсгийг хадгалахдаа ихэвчлэн цэвэрлэгээний шүүгээ эсвэл хаалттай савыг ашиглах хэрэгтэй.Шилэн субстратыг шинэ исэлдсэн хөнгөн цагаан саванд хадгалах шаардлагатай бөгөөд энэ нь нүүрсустөрөгчийн уурын шингээлтийг бууруулдаг.Учир нь шинээр исэлдсэн хөнгөн цагаан сав нь нүүрсустөрөгчийг илүү сайн шингээх болно.Усны ууранд мэдрэмтгий эсвэл тогтворгүй гадаргууг ихэвчлэн вакуум хатаах зууханд хадгалдаг.
Байгаль орчинд вакуум бүрэх үйл явцын үндсэн шаардлагууд нь: вакуум өрөөнд өндөр цэвэр байдал, бүрэх өрөөнд тоосгүй байх гэх мэт. Зарим газарт агаарын чийгшил харьцангуй өндөр байдаг тул бүрэхээс өмнө зөвхөн цэвэрлэх шаардлагагүй. субстрат болон вакуум камер дахь бүрэлдэхүүн хэсгүүд, гэхдээ жигнэх, хийгүйжүүлэх ажлыг хийх шаардлагатай.Нэмж дурдахад тос нь вакуум камерт орохоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд түлшний диффузын насосны тосыг буцаах, тосыг хаах арга хэмжээг анхаарч үзэх шаардлагатай.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 18