Theвакуум бүрэхМашины процессыг: вакуум ууршуулах бүрэх, вакуум цацах бүрэх, вакуум ион бүрэх гэж хуваадаг.
1、Вакуум ууршуулах бүрэх
Вакуум нөхцөлд металл, металл хайлш гэх мэт материалыг ууршуулж, дараа нь субстратын гадаргуу дээр байрлуулж, ууршуулах бүрэх аргыг ихэвчлэн эсэргүүцэх халаалт, дараа нь бүрэх материалыг электрон цацрагаар бөмбөгдөж, тэдгээрийг хийнэ. хийн фаз руу ууршуулж, дараа нь субстратын гадаргуу дээр тунадас, түүхэнд вакуум уурын хуримтлал нь PVD аргад ашигласан хамгийн эртний технологи юм.
2、Цэвэрлэх бүрэх
Энэ хий нь (Ar) дүүргэсэн вакуум нөхцөлд гэрэлтдэг туяанд өртдөг. Энэ үед аргон (Ar) атомууд нь азотын ионууд (Ar) болж ионууд нь цахилгаан талбайн хүчээр хурдасч, катодын байг бөмбөгддөг. Энэ нь бүрэх материалаар хийгдсэн бөгөөд бай нь цацагдаж, субстратын гадаргуу дээр тогтдог бөгөөд ихэвчлэн гялалзсан ялгадасаар олж авсан шүршигч бүрхэлтийн ионууд нь 10-2па-аас 10Па хооронд байдаг，Тиймээс цацагдсан хэсгүүд нь мөргөлдөхөд хялбар байдаг. субстрат руу нисэх үед вакуум камерт байгаа хийн молекулууд нь хөдөлгөөний чиглэлийг санамсаргүй болгож, хуримтлагдсан хальсыг жигд болгоход хялбар болгодог.
3、Ионы бүрээс
Вакуум нөхцөлд, Вакуум нөхцөлд, бүрэх материалын атомыг ион болгон хэсэгчлэн ионжуулахын тулд тодорхой плазмын ионжуулалтын аргыг ашигласан. Үүний зэрэгцээ субстрат дээр сөрөг хандлагатай олон тооны өндөр энергитэй саармаг атомууд үүсдэг. Ийм байдлаар ионууд үүсдэг. гүн сөрөг хэвийсэн дор субстратын гадаргуу дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
Шуудангийн цаг: 2023-03-23