Ионы бүрээсмашин 1960-аад онд Д.М. Маттоксын дэвшүүлсэн онолоос гаралтай бөгөөд тэр үед холбогдох туршилтууд эхэлсэн;1971 он хүртэл Чемберс болон бусад хүмүүс электрон цацрагийн ион бүрэх технологийг нийтэлсэн;1972 онд TiC, TiN гэх мэт хэт хатуу хальсыг үйлдвэрлэхэд реактив ууршилтын бүрэх (ARE) технологийг Буншагийн тайланд онцолсон;Мөн 1972 онд Смит, Молли нар бүрэх процесст хөндий катодын технологийг нэвтрүүлсэн.1980-аад он гэхэд Хятадад ион бүрэх нь үйлдвэрлэлийн хэрэглээний түвшинд хүрч, вакуум олон нуман ион бүрэх, нуман ялгаруулах ион бүрэх зэрэг бүрэх процессууд дараалан гарч ирэв.
Вакуум ион бүрэх бүх үйл явц дараах байдалтай байна: нэгдүгээрт,насосвакуум камер, дараа ньхүлээвакуум даралтыг 4X10 ⁻ ³ Па хүртэлэсвэл илүү сайн, өндөр хүчдэлийн цахилгаан тэжээлийг холбож, субстрат болон ууршуулагчийн хооронд бага хүчдэлийн хийн бага температурт плазмын талбайг барих шаардлагатай.5000V тогтмол гүйдлийн сөрөг өндөр хүчдэлтэй субстратын электродыг холбож катодын гэрэлтэх цэнэгийг үүсгэнэ.Сөрөг гэрэлтэх хэсгийн ойролцоо идэвхгүй хийн ионууд үүсдэг.Тэд катодын харанхуй хэсэгт нэвтэрч, цахилгаан талбайн нөлөөгөөр хурдасч, субстратын гадаргууг бөмбөгддөг.Энэ бол цэвэрлэх процесс бөгөөд дараа нь бүрэх процесс руу орно.Бөмбөгдөлтийн халаалтын нөлөөгөөр зарим өнгөлгөөний материал ууршдаг.Плазмын хэсэг нь протон руу орж, электрон, инертийн хийн ионуудтай мөргөлдөж, тэдгээрийн багахан хэсэг нь ионжсон, Өндөр энергитэй эдгээр ионжуулсан ионууд нь хальсны гадаргууг бөмбөгдөж, хальсны чанарыг тодорхой хэмжээгээр сайжруулна.
Вакуум ионоор бүрэх зарчим нь: вакуум камерт хийн ялгарах үзэгдэл эсвэл ууршсан материалын ионжсон хэсгийг ашиглан ууршуулсан материалын ион эсвэл хийн ионыг бөмбөгдөх дор эдгээр ууршсан бодис эсвэл тэдгээрийн урвалж бодисыг субстрат дээр нэгэн зэрэг байрлуулна. нимгэн хальс авах.Ионы бүрээсмашинвакуум ууршилт, плазмын технологи, хийн гэрэлтэх ялгаралтыг хослуулсан бөгөөд энэ нь хальсны чанарыг сайжруулаад зогсохгүй киноны хэрэглээний хүрээг өргөжүүлдэг.Энэ процессын давуу тал нь хүчтэй дифракц, сайн хальсан наалдамхай, янз бүрийн бүрэх материал юм.Ион бүрэх зарчмыг анх ДМ Маттокс санал болгосон.Олон төрлийн ион бүрэх байдаг.Хамгийн түгээмэл төрөл бол ууршилтын халаалт, үүнд эсэргүүцлийн халаалт, электрон цацрагийн халаалт, плазмын электрон цацрагийн халаалт, өндөр давтамжийн индукцийн халаалт болон бусад халаалтын аргууд орно.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 14-ний өдөр